[發明專利]真空吸附載具

無效

• 申請號: 201210428930.8
• 申請日: 2012-11-01
• 公開（公告）號: CN102896601A
• 公開（公告）日: 2013-01-30
• 發明（設計）人: 趙春花
• 申請（專利權）人: 昆山允可精密工業技術有限公司
• 主分類號: B25B11/00
• 分類號: B25B11/00
• 代理公司: 北京市振邦律師事務所 11389
• 代理人: 李朝輝

技術領域

本發明涉及激光精密設備領域，具體而言，涉及一種真空吸附載具。?

背景技術

激光精密加工技術在半導體、太陽能、SMT、平面顯示等領域應用廣泛且發展迅速。在使用激光對金屬、非金屬薄板材進行加工或測量的過程中，加工對象的裝夾固定方式對于加工效果或測量精度存在影響。?

相關的裝夾固定方式由于不具有根據材料性質調節吸附氣壓的功能，難以滿足用戶在加工和測量精度方面的需求。?

發明內容

本發明旨在提供一種真空吸附載具，以解決上述的問題。?

在本發明的實施例中，提供了一種真空吸附載具，包括：吸附氣流槽板及其側面的抽氣管、與吸附氣流槽板連接裝配的吸附網孔板、與抽氣管通過氣壓調節閥和氣壓表相連通的真空泵，以及吸附氣流槽板與吸附網孔板間的連接和密封構件。?

本發明因為加入了吸附氣壓調節功能，所以克服了無法根據材料性質調節吸附氣壓的問題，提高了激光加工和測量的精度。?

附圖說明

此處所說明的附圖用來提供對本發明的進一步理解，構成本申請的一部分，本發明的示意性實施例及其說明用于解釋本發明，并不構成對本發明的不當限定。在附圖中：?

圖1示出了根據本發明實施例的真空吸附載具的示意圖；?

圖2示出了根據本發明實施例的氣壓調節裝置與載具的連接示意圖。?

具體實施方式

下面將參考附圖并結合實施例，來詳細說明本發明。?

圖1和圖2分別示出了根據本發明實施例的真空吸附載具，及其與氣壓調節裝置的連接方式，包括：吸附氣流槽板1及其側面的抽氣管2、與吸附氣流槽板1連接裝配的吸附網孔板6、與抽氣管2通過氣壓調節閥3和氣壓表4相連通的真空泵5，以及吸附氣流槽板1與吸附網孔板6間的連接和密封構件。?

該真空吸附載具由于增加了氣壓調節裝置，所以解決了根據材料性質調節吸附氣壓的問題，提高了激光加工和測量的精度。?

優選地，氣壓調節閥3的閥門和氣壓表4的表盤面向外。?

優選地，吸附氣流槽板1和吸附網孔板6通過螺釘連接裝配，且螺釘孔從下向上安裝。?

優選地，吸附氣流槽板1和吸附網孔板6在接縫處密封。?

優選地，在吸附氣流槽板1的各側面設置多個氣壓轉接頭，并通過氣管與抽氣管2相互連接，以提高吸附力在載具面上的擴散速度和均勻性。

優選地，吸附網孔板采用黑色POM材料制作；相對于白色POM材料，其較強的激光吸收性能可提高材料使用壽命。?

本系統是一種增加了氣壓調節裝置的真空吸附載具。將設置在吸附氣流槽板側面的抽氣管，通過氣壓調節閥和氣壓表與真空泵相互連接。由于氣壓表表盤和氣壓調節閥閥門均為面朝外，因此可以針對特定材料的性質進行相應的氣壓調節。?

將吸附氣流槽板和吸附網孔板通過螺釘進行裝配連接，并在接縫處密封。由于吸附氣流槽板內部分布有氣流槽，因此在抽氣狀態下，吸附力可通過氣流槽在載具內部擴散，再通過吸附網孔板傳遞到載具表面，從而實現對金屬或非金屬薄板材的吸附。?

本真空吸附載具在相關載具基礎上，通過引入氣壓調節裝置，使其功能得到了強化，同時運行更加合理；不僅提高了加工和測量的精度，而且避免了對薄、脆板材可能造成的損傷。?

從以上描述可以看出，本真空吸附載具具有以下有益效果：?

1、在保證吸附穩固程度的同時，使吸附更平整、定位更精確；?

2、根據對象材料進行相應氣壓調節，減少不必要的能源浪費和機械損耗；?

3、可加工測量的對象范圍更寬，且避免對不常見材料造成損壞。?

以上所述僅為本發明的優選實施例而已，并不用于限制本發明，對于本領域的技術人員來說，本發明可以有各種更改和變化。凡在本發明的精神和原則之內，所作的任何修改、等同替換、改進等，均應包含在本發明的保護范圍之內。?