[發明專利]采用平行光管拼接檢測超大口徑反射鏡面形誤差的方法有效
| 申請號： | 201210428521.8 | 申請日： | 2012-10-31 |
| 公開（公告）號： | CN102927930A | 公開（公告）日： | 2013-02-13 |
| 發明（設計）人： | 王孝坤;閆力松 | 申請（專利權）人： | 中國科學院長春光學精密機械與物理研究所 |
| 主分類號： | G01B11/24 | 分類號： | G01B11/24 |
| 代理公司： | 長春菁華專利商標代理事務所 22210 | 代理人： | 陶尊新 |
| 地址： | 130033 吉*** | 國省代碼： | 吉林;22 |
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| 摘要： | |||
| 搜索關鍵詞： | 采用 平行 拼接 檢測 超大 口徑 反射 鏡面形 誤差 方法 | ||
1.采用平行光管拼接檢測超大口徑反射鏡面形誤差的方法，其特征是，該方法由以下步驟實現：?
步驟一、干涉儀（1）出射的標準球面波經大口徑平行光管（2）后轉化為標準平面波，在所述平面波的出射光瞳處放置高精度的標準平面反射鏡（6），通過精確調整標準平面反射鏡（6）與大口徑平行光管（2）的位置，使大口徑平行光管（2）出射的平面波經標準平面反射鏡（6）后被干涉儀（1）接收，所述干涉儀（1）測得大口徑平行光管（2）的像差分布數據；
步驟二、采用待測大口徑反射鏡（3）替換步驟一中高精度的標準平面反射鏡（6），所述干涉儀（1）出射的標準球面波經過大口徑平行光管（2）后轉化為大口徑的平面波，調整大口徑的平面波的出射光瞳與待測大口徑反射鏡（3）的相對位置，使出射的平面波逐次入射到待測大口徑反射鏡（3）的各子孔徑區域后返回干涉儀（1）；采用干涉儀（1）測得的數據減去步驟一測得的大口徑平行光管（2）的像差分布數據；獲得待測大口徑反射鏡（3）的各子孔徑區域的相位分布數據；
步驟三、計算機提取干涉儀（1）測量獲得的待測大口徑反射鏡（3）的各子孔徑相位分布數據，并對各子孔徑的相位分布數據采用三角剖分和全局優化的拼接算法獲得待測大口徑反射鏡（3）全口徑的面形誤差。
2.根據權利要求1所述的采用平行光管拼接檢測超大口徑反射鏡面形誤差的方法，其特征在于，所述干涉儀（1）固定在第一調整機構（4）上，通過調整第一調整機構（4）使干涉儀（1）與大口徑平行光管（2）對準。
3.根據權利要求1所述的采用平行光管拼接檢測超大口徑反射鏡面形誤差的方法，其特征在于，所述待測大口徑反射鏡（3）固定在第二調整機構（5）上，通過調整第二調整機構（5）沿X軸和Y軸方向的平動以及繞X軸和Y軸的轉動使待測大口徑反射鏡（3）的任意區域對準大口徑平行光管（2）的出射光瞳。
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