[發(fā)明專利]采用平行光管拼接檢測(cè)超大口徑反射鏡面形誤差的方法

有效

• 申請(qǐng)?zhí)枺?/td>: 201210428521.8
• 申請(qǐng)日: 2012-10-31
• 公開（公告）號(hào): CN102927930A
• 公開（公告）日: 2013-02-13
• 發(fā)明（設(shè)計(jì)）人: 王孝坤;閆力松
• 申請(qǐng)（專利權(quán)）人: 中國(guó)科學(xué)院長(zhǎng)春光學(xué)精密機(jī)械與物理研究所
• 主分類號(hào): G01B11/24
• 分類號(hào): G01B11/24
• 代理公司: 長(zhǎng)春菁華專利商標(biāo)代理事務(wù)所 22210
• 代理人: 陶尊新

1.采用平行光管拼接檢測(cè)超大口徑反射鏡面形誤差的方法，其特征是，該方法由以下步驟實(shí)現(xiàn)：?

步驟一、干涉儀（1）出射的標(biāo)準(zhǔn)球面波經(jīng)大口徑平行光管（2）后轉(zhuǎn)化為標(biāo)準(zhǔn)平面波，在所述平面波的出射光瞳處放置高精度的標(biāo)準(zhǔn)平面反射鏡（6），通過精確調(diào)整標(biāo)準(zhǔn)平面反射鏡（6）與大口徑平行光管（2）的位置，使大口徑平行光管（2）出射的平面波經(jīng)標(biāo)準(zhǔn)平面反射鏡（6）后被干涉儀（1）接收，所述干涉儀（1）測(cè)得大口徑平行光管（2）的像差分布數(shù)據(jù)；

步驟二、采用待測(cè)大口徑反射鏡（3）替換步驟一中高精度的標(biāo)準(zhǔn)平面反射鏡（6），所述干涉儀（1）出射的標(biāo)準(zhǔn)球面波經(jīng)過大口徑平行光管（2）后轉(zhuǎn)化為大口徑的平面波，調(diào)整大口徑的平面波的出射光瞳與待測(cè)大口徑反射鏡（3）的相對(duì)位置，使出射的平面波逐次入射到待測(cè)大口徑反射鏡（3）的各子孔徑區(qū)域后返回干涉儀（1）；采用干涉儀（1）測(cè)得的數(shù)據(jù)減去步驟一測(cè)得的大口徑平行光管（2）的像差分布數(shù)據(jù)；獲得待測(cè)大口徑反射鏡（3）的各子孔徑區(qū)域的相位分布數(shù)據(jù)；

步驟三、計(jì)算機(jī)提取干涉儀（1）測(cè)量獲得的待測(cè)大口徑反射鏡（3）的各子孔徑相位分布數(shù)據(jù)，并對(duì)各子孔徑的相位分布數(shù)據(jù)采用三角剖分和全局優(yōu)化的拼接算法獲得待測(cè)大口徑反射鏡（3）全口徑的面形誤差。

2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的采用平行光管拼接檢測(cè)超大口徑反射鏡面形誤差的方法，其特征在于，所述干涉儀（1）固定在第一調(diào)整機(jī)構(gòu)（4）上，通過調(diào)整第一調(diào)整機(jī)構(gòu)（4）使干涉儀（1）與大口徑平行光管（2）對(duì)準(zhǔn)。

3.根據(jù)權(quán)利要求1所述的采用平行光管拼接檢測(cè)超大口徑反射鏡面形誤差的方法，其特征在于，所述待測(cè)大口徑反射鏡（3）固定在第二調(diào)整機(jī)構(gòu)（5）上，通過調(diào)整第二調(diào)整機(jī)構(gòu)（5）沿X軸和Y軸方向的平動(dòng)以及繞X軸和Y軸的轉(zhuǎn)動(dòng)使待測(cè)大口徑反射鏡（3）的任意區(qū)域?qū)?zhǔn)大口徑平行光管（2）的出射光瞳。