[發明專利]基于復合微進給軸驅動的超長工件直線度檢測裝置

有效

• 申請號: 201210426078.0
• 申請日: 2012-10-31
• 公開（公告）號: CN102927932A
• 公開（公告）日: 2013-02-13
• 發明（設計）人: 林獻坤;丁順東;吳倩倩
• 申請（專利權）人: 上海理工大學
• 主分類號: G01B11/26
• 分類號: G01B11/26
• 代理公司: 上海申匯專利代理有限公司 31001
• 代理人: 吳寶根;王晶

1.一種基于復合微進給軸驅動的超長工件直線度檢測裝置，包括實驗臺床身、測試臺支架、驅動裝置、數控系統，其特征在于：所述實驗臺床身上面兩側分別通過導軌支架（2）固定連接導軌（1），導軌（1）上面通過滑動配合連接滑臺（22），導軌（1）一側設有測試臺支架（4），測試臺支架（4）上裝有第一至第四激光干涉儀（5，6，7，8），滑臺（22）前端面上裝有由垂直直線電機和水平直線電機組成的驅動裝置，位于垂直直線電機動子上、下，左、右側分別設有第一至第四反射鏡（18、19、20、21），第三反射鏡（20）一側裝有激光位移傳感器（27），第一至第四激光干涉儀（5，6，7，8）分別將各自發出的激光束經第一至第四反射鏡（18、19、20、21）反射回到自身的激光干涉儀內；數控系統接受水平和垂直兩個方向上的激光干涉儀的數據，得到導軌直線度在水平和垂直方向的偏離方向及偏離量，并向驅動單元發出移動信號，驅動單元給垂直直線電機和水平直線電機發出脈沖信號，垂直直線電機和水平直線電機移動對垂直和水平方向兩個方向上的直線度誤差進行糾正。

2.根據權利要求1所述的基于復合微進給軸驅動的超長工件直線度檢測裝置，其特征在于：所述驅動裝置包括垂直直線電機動子（13）、垂直直線電機導軌（14）、水平直線電機動子（15）、水平直線電機導軌（16），垂直直線電機導軌（14）固定在水平方向直線電機動子（15）上；垂直直線電機導軌（14）和水平直線電機導軌（16）上均安裝有光柵尺。

3.根據權利要求1所述的基于復合微進給軸驅動的超長工件直線度檢測裝置，其特征在于：所述測試臺支架包括工件支架（23）、夾具（24），若干個夾具（24）中間放置被測工件（25），且夾具（24）可沿工件支架（23）上下移動。

4.根據權利要求1所述的基于復合微進給軸驅動的超長工件直線度檢測裝置，其特征在于：所述激光位移傳感器（27）通過傳感器夾具（26）連接在垂直直線電機動子（13）左側的激光干涉儀支架上。