[發明專利]用于多層圖案的印刷的閉環反饋控制的方法和裝置

無效

• 申請號: 201210423314.3
• 申請日: 2012-10-24
• 公開（公告）號: CN103252991A
• 公開（公告）日: 2013-08-21
• 發明（設計）人: 喬治歐·塞勒里;恩里科·波斯克羅·馬爾奇;亞歷山大·沃爾坦;阿爾貝托·威爾拉塔;盧奇·德·薩緹;托馬索·沃爾克斯;馬科·加里亞左
• 申請（專利權）人: 應用材料意大利有限公司
• 主分類號: B41F33/16
• 分類號: B41F33/16;B41F15/08;H01L31/18
• 代理公司: 上海專利商標事務所有限公司 31100
• 代理人: 侯穎媖

1.一種太陽能電池形成方法，其包括如下步驟：

將第一襯底定位在第一印刷站的襯底接收表面上；

將第一圖案化層印刷在所述第一襯底的區域上；

獲取所述第一圖案化層的第一圖像并將所述第一圖像存儲在緩沖器中；

將所述第一襯底轉移到第二印刷站的襯底接收表面；

將第二圖案化層印刷在所述第一襯底的所述區域上；

獲取所述第二圖案化層的第二圖像；以及

使用所述第一圖像和所述第二圖像執行閉環計算步驟，以確定所述第二圖案化層與所述第一圖案化層的對準。

2.如權利要求1所述的方法，進一步包括：

將上面設置有所述第一圖案化層的第二襯底定位在所述第二印刷站的襯底接收表面上；以及

在執行所述閉環計算步驟之后將第二圖案化層印刷在所述第一圖案化層上。

3.如權利要求2所述的方法，進一步包括：

將第三圖案化層印刷在所述第二襯底上的所述第二圖案化層上，其中使用從所述閉環計算步驟接收到的信息將所述第三圖案化層在所述第二圖案化層上對準。

4.如權利要求3所述的方法，其中所述第二圖案化層和所述第三圖案化層包括金屬材料。

5.如權利要求3所述的方法，進一步包括：

使用從所述閉環計算步驟接收到的信息，在印刷所述第三圖案化層之前對準所述襯底。

6.如權利要求1所述的方法，其中所述第一圖像包括光學圖像。

7.如權利要求6所述的方法，其中所述光學圖像被作為數字數據存儲在控制單元中，所述數字數據包括所述第一圖案化層的位置的坐標。

8.如權利要求7所述的方法，其中所述數字數據被傳輸到設置于所述第二印刷站中的對準設備。

9.如權利要求1所述的方法，其中獲取所述第一圖像進一步包括用電磁輻射來照射第一表面。

10.如權利要求1所述的方法，其中獲取所述第一圖像進一步包括用電磁輻射來照射所述襯底的第二表面，所述第二表面與第一表面相反。

11.一種太陽能電池形成方法，其包括如下步驟：

將襯底定位在印刷站的襯底接收表面上；

將第一圖案化層印刷在所述襯底的區域上；

獲取所述第一圖案化層的第一光學圖像并將所述第一光學圖像存儲在緩沖器中；

將第二圖案化層印刷在所述襯底的所述區域上，其中使用從獲取的所述第一光學圖像接收到的信息來將所述第二圖案化層在所述襯底的所述區域上對準；以及

獲取所述第二圖案化層的第二光學圖像。

12.如權利要求11所述的方法，進一步包括：

將第三圖案化層印刷在所述第二圖案化層上，其中使用從獲取的所述第一光學圖像或獲取的所述第二光學圖像接收到的信息來將所述第三圖案化層在所述第二圖案化層上對準。

13.如權利要求12所述的方法，進一步包括：

在印刷所述第二圖案化層或所述第三圖案化層之前，對準所述襯底。

14.如權利要求13所述的方法，其中在所述印刷站中執行所述襯底的對準。

15.如權利要求13所述的方法，其中所述印刷站包括執行所述第一圖案化層的印刷的第一印刷站，并且在第二印刷站中執行所述第二圖案化的印刷。

16.如權利要求15所述的方法，其中在所述第二印刷站中執行所述襯底的對準。

17.一種太陽能電池形成方法，其包括如下步驟：

將第一襯底定位在第一印刷站的襯底接收表面上；

將第一圖案化層印刷在所述第一襯底的區域上；

獲取所述第一圖案化層的第一圖像；

將所述第一圖像存儲在緩沖器中；

將所述第一襯底轉移到第二印刷站的襯底接收表面；

將第二圖案化層印刷在所述第一襯底的所述區域上，其中使用從獲取的所述第一圖像接收到的信息來將所述第二圖案化層在所述襯底的所述區域上對準；

獲取所述第二圖案化層的第二圖像；以及

將所述第二圖像存儲在所述緩沖器中。