[發明專利]物理量檢測裝置、物理量檢測器及電子設備

有效

• 申請號: 201210422835.7
• 申請日: 2012-10-29
• 公開（公告）號: CN103090887A
• 公開（公告）日: 2013-05-08
• 發明（設計）人: 渡邊潤;中仙道和之
• 申請（專利權）人: 精工愛普生株式會社
• 主分類號: G01D3/036
• 分類號: G01D3/036;G01C9/00
• 代理公司: 北京金信立方知識產權代理有限公司 11225
• 代理人: 黃威;蘇萌萌

技術領域

本發明涉及物理量檢測裝置、物理量檢測器及電子設備。

背景技術

一直以來，已知一種使用了振子等的物理量檢測元件的物理量檢測裝置（例如，加速度傳感器）。這種物理量檢測裝置以如下方式構成，即，當物理量檢測元件的共振頻率由于力向檢測軸方向作用而發生了變化時，根據該共振頻率的變化來對被施加于物理量檢測元件上的力（加速度）進行檢測。

在專利文獻1中公開了一種使雙頭晶體音叉轉換器（物理量檢測元件）的兩端固定在支承結構體上的傳感器，其中，所述支承結構體具有基座組件、撓曲部以及保證質量部。

然而，在專利文獻1所公開的技術中，存在如下的情況，即，當將支承結構體以多個位置固定在外殼上時，因支承結構體和封裝件之間的線膨脹系數之差，而在支承結構體的固定部之間產生應力，并且該應力經由支承結構體而向物理量檢測元件傳遞的情況。由此，存在物理量檢測元件的共振頻率發生變動，而導致物理量檢測裝置的檢測靈敏度降低的情況。

作為對這種應力的傳遞進行抑制的方法，考慮了如下的方法，即，如專利文獻2所公開的那樣，將夾著保證質量部的梁狀的彎曲部設置在對物理量檢測元件進行支承的支承結構體上，并通過該彎曲部來緩和應力。

然而，在專利文獻2所公開的技術中，由于彎曲部以夾著保證質量部的方式而配置，因此無法將彎曲部的間隔、即支承結構體中的被固定在封裝件上的多個固定部之間的距離設為保證質量部或支承結構體的寬度以下（兩個彎曲部的支承結構體側的根彼此之間的距離以下）。因此，例如在將彎曲部固定在封裝件上時，存在如下的情況，即，因支承結構體與封裝件之間的線膨脹系數之差而在支承結構體上產生的應力，與多個彎曲部（固定部）之間的距離對應而成為較大的值。而且，這種應力有時會傳遞至物理量檢測元件。

專利文獻1：日本特表平4-505509號公報

專利文獻2：美國專利第5331854號說明書

發明內容

本發明的幾個方式所涉及的目的之一在于，提供一種能夠抑制應力向物理量檢測元件被傳遞的情況的物理量檢測裝置。另外，本發明的幾個方式所涉及的目的之一在于，提供一種具有上述物理量檢測裝置的物理量檢測器及電子設備。

應用例1

本發明所涉及的物理量檢測裝置包括：基部；可動部，其通過連接部而被所述基部支承，并根據物理量的變化而發生位移；物理量檢測元件，其跨接所述基部和所述可動部；第一支承部，其從所述基部起延伸，并具備第一固定部；第二支承部，其從所述基部起延伸，并具備第二固定部，所述第一固定部與所述第二固定部之間的距離小于，所述第一支承部與所述基部的連接根部的部分和所述第二支承部與所述基部的連接根部的部分之間的距離。

根據這種物理量檢測裝置，能夠抑制應力向物理量檢測元件被傳遞的情況，其中，所述應力為，在將第一固定部以及第二固定部固定安裝在封裝件或電路基板等的外部部件上時，因結構體（以包括基部、連接部、可動部以及支承部的方式而構成的結構體）的線膨脹系數、與封裝件或電路基板等的外部部件的線膨脹系數之間的差，而在結構體上產生的應力。即，雖然當第一固定部與第二固定部之間的距離增大時，因線膨脹系數之差而在結構體上產生的應力也增大，但在這種物理量檢測裝置中，由于第一固定部與第二固定部之間的距離小于，第一支承部與基部的連接根部的部分和第二支承部與基部的連接根部的部分之間的距離，因此能夠減小因線膨脹系數之差而在結構體（例如基部）上產生的應力。其結果為，在這種物理量檢測裝置中，能夠抑制該應力向物理量檢測元件被傳遞的情況，從而能夠具有較高的檢測靈敏度。

應用例2

在本發明所涉及的物理量檢測裝置中，所述第一支承部中，從所述基部起延伸至所述第一固定部為止的區間是彎曲的，所述第二支承部中，從所述基部起延伸至所述第二固定部為止的區間是彎曲的。

根據這種物理量檢測裝置，能夠使由于第一固定部以及第二固定部被固定在封裝件等的外部部件上而在第一固定部以及第二固定部上產生的應力，在傳遞至物理量檢測元件之前得到緩和。

應用例3

在本發明所涉及的物理量檢測裝置中，所述第一支承部中，從所述基部起延伸至所述第一固定部為止的區間以往復的方式而彎曲，所述第二支承部中，從所述基部起延伸至所述第二固定部為止的區間以往復的方式而彎曲。

根據這種物理量檢測裝置，能夠使由于第一固定部以及第二固定部被固定在封裝件等的外部部件上而在第一固定部以及第二固定部上產生的應力，在被傳遞至物理量檢測元件之前進一步得到緩和。

應用例4