[發(fā)明專利]太陽能電池的制造裝置、太陽能電池及其制造方法

有效

• 申請?zhí)枺?/td>: 201210422640.2
• 申請日: 2012-10-30
• 公開（公告）號: CN103094413A
• 公開（公告）日: 2013-05-08
• 發(fā)明（設(shè)計）人: 仲村恵右;山口晉作
• 申請（專利權(quán)）人: 三菱電機株式會社
• 主分類號: H01L31/18
• 分類號: H01L31/18;H01L21/677;H01L31/075
• 代理公司: 中國國際貿(mào)易促進委員會專利商標(biāo)事務(wù)所 11038
• 代理人: 金光華

1.一種太陽能電池的制造裝置，其特征在于，具備：

基板保持架，以使具有第1主面和所述第1主面的相反側(cè)的第2主面的基板的所述第1主面以及所述第2主面這兩者露出的方式，平面地保持多個所述基板；

前成膜室，在所述基板保持架被搬入到陽極電極側(cè)時，以使所述基板保持架接觸到所述陽極電極上、并使所述第2主面從應(yīng)發(fā)生的放電中隔離且使所述第1主面曝露于所述應(yīng)發(fā)生的放電的方式，載置所述基板保持架，對陰極電極以及所述陽極電極之間施加高頻功率而使第1氣體放電，從而在所述基板的所述第1主面形成第1膜；

后成膜室，在所述基板保持架被搬入到陽極電極側(cè)時，以使所述基板保持架接觸到所述陽極電極上、并使所述第1主面從應(yīng)發(fā)生的放電中隔離且使所述第2主面曝露于所述放電的方式，載置所述基板保持架，對陰極電極以及所述陽極電極之間施加高頻功率而使第2氣體放電，從而在所述基板的所述第2主面形成第2膜；以及

搬運機構(gòu)，從所述前成膜室向所述后成膜室在不開放大氣的狀態(tài)下在搬運路徑的大部分中在沿著所述第1主面的方向上搬運所述基板保持架。

2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的太陽能電池的制造裝置，其特征在于，

所述前成膜室中的所述陰極電極以及所述陽極電極的位置關(guān)系與所述后成膜室中的所述陰極電極以及所述陽極電極的位置關(guān)系相反。

3.根據(jù)權(quán)利要求2所述的太陽能電池的制造裝置，其特征在于，

所述搬運機構(gòu)沿著所述基板的所述第1主面從所述前成膜室向連接所述前成膜室以及所述后成膜室的移動室在沿著所述第1主面的方向上搬運所述基板保持架，在所述移動室內(nèi)從與所述前成膜室的所述陽極電極對應(yīng)的位置到與所述后成膜室的所述陽極電極對應(yīng)的位置為止使所述基板保持架在與所述第1主面交叉的方向上移動，沿著所述基板的所述第1主面從所述移動室向所述后成膜室在沿著所述第1主面的方向上搬運所述基板保持架。

4.根據(jù)權(quán)利要求3所述的太陽能電池的制造裝置，其特征在于，

所述移動室在沿著所述基板的所述第1主面的方向上連接所述前成膜室和所述后成膜室。

5.根據(jù)權(quán)利要求3所述的太陽能電池的制造裝置，其特征在于，

所述移動室在與所述基板的所述第1主面交叉的方向上連接所述前成膜室和所述后成膜室。

6.根據(jù)權(quán)利要求5所述的太陽能電池的制造裝置，其特征在于，還具備：

第2基板保持架，以使具有第1主面和所述第1主面的相反側(cè)的第2主面的第2基板的所述第1主面以及所述第2主面這兩者露出的方式，保持所述第2基板；

第2前成膜室，在所述第2基板保持架被搬入到陽極電極側(cè)時，以使所述基板保持架接觸到所述陽極電極上、并使所述第2主面從應(yīng)發(fā)生的放電中隔離且使所述第1主面曝露于所述應(yīng)發(fā)生的放電的方式，載置所述基板保持架，對陰極電極以及所述陽極電極之間施加高頻功率而使所述第1氣體放電，從而在所述第2基板的所述第1主面形成第1膜；

第2后成膜室，在所述第2基板保持架被搬入到陽極電極側(cè)時，以使所述基板保持架接觸到所述陽極電極上、并使所述第1主面從應(yīng)發(fā)生的放電中隔離且使所述第2主面曝露于所述放電的方式，載置所述基板保持架，對陰極電極以及所述陽極電極之間施加高頻功率而使所述第2氣體放電，從而在所述第2基板的所述第2主面形成第2膜；以及

第2搬運機構(gòu)，從所述第2前成膜室向所述第2后成膜室在不開放大氣的狀態(tài)下在搬運路徑的大部分中在沿著所述第1主面的方向上搬運所述第2基板保持架，其中，

所述第2前成膜室中的所述陰極電極以及所述陽極電極的位置關(guān)系與所述第2后成膜室中的所述陰極電極以及所述陽極電極的位置關(guān)系相反，

所述移動室在與所述基板的所述第1主面交叉的方向上連接所述前成膜室和所述后成膜室，并且在與所述基板的和所述第1主面相反的一側(cè)交叉的方向上連接所述第2前成膜室和所述第2后成膜室。

7.根據(jù)權(quán)利要求6所述的太陽能電池的制造裝置，其特征在于，

所述第2搬運機構(gòu)沿著所述基板的所述第1主面從所述第2前成膜室向所述移動室在沿著所述第1主面的方向上搬運所述第2基板保持架，在所述移動室內(nèi)從與所述第2前成膜室的所述陽極電極對應(yīng)的位置到與所述第2后成膜室的所述陽極電極對應(yīng)的位置為止使所述第2基板保持架在與所述第1主面交叉的方向上移動，沿著所述基板的所述第1主面從所述移動室向所述第2后成膜室在沿著所述第1主面的方向上搬運所述第2基板保持架。