[發明專利]具有表面微結構的平板工件的制作方法

無效

• 申請號: 201210420712.X
• 申請日: 2012-10-29
• 公開（公告）號: CN103787267A
• 公開（公告）日: 2014-05-14
• 發明（設計）人: 廖永源;廖兆煒
• 申請（專利權）人: 兆煒金屬工業有限公司
• 主分類號: B81C1/00
• 分類號: B81C1/00;B29C59/02
• 代理公司: 北京三友知識產權代理有限公司 11127
• 代理人: 董惠石

1.一種具有表面微結構的平板工件的制作方法，其包含：

(A)提供一壓印機臺，該壓印機臺包括：

一第一模具，具包含有一壓印圖案，該壓印圖案形成于該第一模具的第一表面；及一第二模具，其面對設置于該具有壓印圖案的第一表面；

(B)提供一預形體，該預形體設置于該第一模具與該第二模具之間；

(C)加熱該第一模具該第二模具，直至足以使該預形體呈可塑性狀態的溫度；

(D)壓合該第一模具及該第二模具，借以令該第一模具的壓印圖案壓印至該預形體上，獲得一具有壓印圖案的預形體；以及

(E)冷卻該第二模具，借以令該具有壓印圖案的預形體經由冷卻收縮而與該第一模具脫離，獲得該具有表面微結構的平板工件。

2.如權利要求1所述的制作方法，其特征在于，于步驟B及步驟(C)之間，更包括一步驟(B’)：令該該預形體、第一模具及該第二模具置于一密閉空間中，且該密閉空間的真空度低于5×10-3托以下。

3.如權利要求1或2所述的制作方法，其特征在于，于步驟(D)及步驟(E)之間，更進一步包括步驟(D’)：恒溫壓印該具有壓印圖案的預形體長達60至100秒。

4.如權利要求1或2所述的制作方法，其特征在于，該預形體的材料為光學玻璃，且該步驟(C)包括加熱該第一模具與第二模具至350℃至700℃之間。

5.如權利要求1或2所述的制作方法，其特征在于，該第二模具包括一第一表面及一第二表面，其中該第二模具的第一表面面對該第一模具具有壓印圖案的表面，且該第二表面背對于該第二模具的第一表面，且該步驟(E)包括自該第二模具的第二表面冷卻該第二模具。

6.如權利要求5所述的制作方法，其特征在于，該步驟(E)包括以小于或等于0.5℃/秒的冷卻速率冷卻該第二模具。

7.如權利要求6所述的制作方法，其特征在于，該步驟(E)更包括以小于或等于0.5℃/秒的冷卻速率冷卻該第一模具。

8.如權利要求5所述的制作方法，其特征在于，于步驟(E)之后，更進一步包括步驟(E’)二次冷卻該第二模具，其中二次冷卻的冷卻速率為1.5℃/秒至2℃/秒之間。

9.如權利要求5所述的制作方法，其特征在于，該步驟(E)包括使用一氣體對該第二模具的第二表面吹氣，借以冷卻該第二模具，其中該氣體為氮氣、氧氣或其組合。

10.如權利要求1所述的制作方法，其特征在于，該具有表面微結構的平板工件包含有多個溝槽，該等溝槽凹設形成于該具有表面微結構的平板工件的一表面，且該等溝槽朝向一延伸方向彼此平行延伸，且各所述溝槽由呈銳角的兩平面所構成。

11.如權利要求10所述的制作方法，其特征在于，該等溝槽的平均寬度介于105微米至196微米之間，且該等溝槽的寬度公差介于±0.1微米至±0.35微米之間。

12.如權利要求11所述的制作方法，其特征在于，該等溝槽與溝槽間的間距介于127微米至250微米之間，且該等溝槽與溝槽間的間距公差介于±0.2微米至±0.5微米之間。

13.如權利要求10所述的制作方法，其特征在于，該壓印機臺更包括二固定部件，其設置于該第二模具上及該預形體的相對應的兩側，并且平行設置于該等溝槽的延伸方向。

14.如權利要求13所述的制作方法，其特征在于，該第一模具及該第二模具的材料為碳化鎢或工具鋼，且該等固定部件的鍍膜材料為鉑銥合金或類鉆碳。

15.如權利要求5所述的制作方法，其特征在于，該第一模具的第一表面的中心線平均粗糙度低于20納米。