[發(fā)明專(zhuān)利]液體噴出頭的制造方法

有效

• 申請(qǐng)?zhí)枺?/td>: 201210419847.4
• 申請(qǐng)日: 2012-10-29
• 公開(kāi)（公告）號(hào): CN103085480A
• 公開(kāi)（公告）日: 2013-05-08
• 發(fā)明（設(shè)計(jì)）人: 淺井和宏;本田哲朗
• 申請(qǐng)（專(zhuān)利權(quán)）人: 佳能株式會(huì)社
• 主分類(lèi)號(hào): B41J2/16
• 分類(lèi)號(hào): B41J2/16
• 代理公司: 北京魏?jiǎn)W(xué)律師事務(wù)所 11398
• 代理人: 魏?jiǎn)W(xué)

1.一種液體噴出頭的制造方法，所述液體噴出頭包括：孔板，其具有噴出液體用的噴出孔和與所述噴出孔連通的液體流路；以及基板，其具有用于產(chǎn)生噴出液體用的能量的噴出能量產(chǎn)生元件，所述制造方法包括如下步驟：

（1）在所述基板上形成所述液體流路的模型圖案以及圍繞所述模型圖案的基部圖案，

（2）布置覆蓋層以覆蓋所述模型圖案和所述基部圖案，

（3）在所述覆蓋層中至少形成所述噴出孔，以形成所述孔板，以及

（4）移除所述模型圖案以及所述基部圖案，

其中，以如下的形狀形成所述基部圖案：

使所述孔板包括：側(cè)壁部，其構(gòu)成所述液體流路的側(cè)壁；

以及多個(gè)支撐結(jié)構(gòu)，其布置在所述基板上的位于所述側(cè)壁部的周邊區(qū)域的位置并且支撐構(gòu)成所述孔板的上壁的上表面部。

2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的液體噴出頭的制造方法，其中，

所述側(cè)壁部由布置在所述基部圖案和所述模型圖案之間的所述覆蓋層形成，并且

所述支撐結(jié)構(gòu)由布置在所述基部圖案內(nèi)的所述覆蓋層形成。

3.根據(jù)權(quán)利要求1所述的液體噴出頭的制造方法，其中，所述支撐結(jié)構(gòu)呈連接到所述基板和所述上表面部的柱狀或壁狀。

4.根據(jù)權(quán)利要求1所述的液體噴出頭的制造方法，其中，所述基部圖案具有網(wǎng)格形狀。

5.根據(jù)權(quán)利要求4所述的液體噴出頭的制造方法，其中，所述網(wǎng)格形狀是格子形狀。

6.根據(jù)權(quán)利要求1所述的液體噴出頭的制造方法，其中，

在步驟（3）中，在所述覆蓋層中同時(shí)形成所述噴出孔和與所述基部圖案連通的貫通孔，并且

在步驟（4）中，從所述貫通孔移除所述基部圖案。

7.根據(jù)權(quán)利要求1所述的液體噴出頭的制造方法，其中，

在步驟（1）中，所述基部圖案形成為使得所述基部圖案的一部分在所述孔板的側(cè)面暴露，并且

在步驟（4）中，從所述孔板的所述側(cè)面移除所述基部圖案。

8.根據(jù)權(quán)利要求1所述的液體噴出頭的制造方法，其中，所述支撐結(jié)構(gòu)具有與所述模型圖案的高度相同的高度。

9.根據(jù)權(quán)利要求1所述的液體噴出頭的制造方法，其中，所述模型圖案和所述基部圖案由相同的材料制成。