[發明專利]一種多懸臂寬頻MEMS壓電俘能器有效
| 申請號： | 201210415352.4 | 申請日： | 2012-10-26 |
| 公開（公告）號： | CN102931878A | 公開（公告）日： | 2013-02-13 |
| 發明（設計）人： | 姚峰林;高世橋;劉海鵬;牛少華;李平 | 申請（專利權）人： | 北京理工大學 |
| 主分類號： | H02N2/18 | 分類號： | H02N2/18;H02J7/02 |
| 代理公司： | 暫無信息 | 代理人： | 暫無信息 |
| 地址： | 100081 *** | 國省代碼： | 北京;11 |
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| 摘要： | |||
| 搜索關鍵詞： | 一種 懸臂 寬頻 mems 壓電 俘能器 | ||
1.一種多懸臂寬頻MEMS壓電俘能器，其特征在于：采用MEMS工藝，體硅加工成形；具體包括微俘能器邊框、主懸臂梁、多個次懸臂梁、多個下分布電極引線端、PZT壓電層、多個上分布電極引線端和多根引線；次懸臂梁、下分布電極引線端和上分布電極引線端的數量一致，且為偶數；引線數量為次懸臂梁數量的兩倍；
各個次懸臂梁采用相同的多層矩形梁結構，從上自下依次為頂電極層、PZT層、底電極層、上層SiO2、Si層、下層SiO2；矩形梁一端與主懸臂梁連接，另一端為梁的自由端；硅質量塊為長方體，位于自由端的下層SiO2下部；
微俘能器邊框的中線位置制作主懸臂梁，多個次懸臂梁平均對稱分布在主懸臂梁的兩側；
PZT壓電層位于微俘能器邊框與主懸臂梁垂直的一側邊長的上表面，多個上分布電極引線端相對于主懸臂梁所在直線對稱分布在PZT壓電層的上表面；
多個下分布電極引線端平均對稱分布在與主懸臂梁平行的微俘能器邊框兩側邊上；
各個次懸臂梁的頂電極層和上分布電極引線端采用引線一一對應連接，各個次懸臂梁的底電極層和下分布電極引線端采用引線一一對應連接；
多根引線通過離子濺射和再刻蝕工藝制作在微俘能器邊框和主懸臂梁上。
2.根據權利要求1所述的一種多懸臂寬頻MEMS壓電俘能器，其特征在于：引線采用鉑或金。
3.根據權利要求1所述的一種多懸臂寬頻MEMS壓電俘能器，其特征在于：微俘能器邊框為長方形。
4.根據權利要求1所述的一種多懸臂寬頻MEMS壓電俘能器，其特征在于：頂電極層和上分布電極引線端，以及底電極層和下分布電極引線端按距離最近、互不干擾的原則連接。
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