[發(fā)明專利]輸送裝置及具有該輸送裝置的處理裝置

無效

• 申請?zhí)枺?/td>: 201210411959.5
• 申請日: 2012-10-25
• 公開（公告）號: CN103074591A
• 公開（公告）日: 2013-05-01
• 發(fā)明（設(shè)計）人: 西村健一;岡本直之;戶谷寬行
• 申請（專利權(quán)）人: 佳能安內(nèi)華股份有限公司
• 主分類號: C23C14/56
• 分類號: C23C14/56;F16H19/04;F16H55/26
• 代理公司: 中國國際貿(mào)易促進(jìn)委員會專利商標(biāo)事務(wù)所 11038
• 代理人: 王詣然

技術(shù)領(lǐng)域

本發(fā)明涉及輸送裝置及具有該輸送裝置的處理裝置。

背景技術(shù)

作為在真空容器內(nèi)輸送基板的基板輸送裝置，已知具有齒條和小齒輪機構(gòu)的基板輸送裝置。齒條和小齒輪機構(gòu)是將小齒輪的旋轉(zhuǎn)動作變換成齒條的直線動作的機構(gòu)，組合小齒輪和齒條而構(gòu)成。

例如，在直線型濺射裝置（インラインスパッタ）等真空處理裝置中，保持基板的基板托盤，由帶齒條的托架穿過真空室進(jìn)行輸送。在這里，通過了真空室的托架需要被轉(zhuǎn)移至下一真空室。在基板托盤上固定齒條，在各真空室中設(shè)有小齒輪，通過對與齒條嚙合了的小齒輪進(jìn)行旋轉(zhuǎn)驅(qū)動，托架被輸送。通過了真空室的托架，被轉(zhuǎn)移至下一真空室的小齒輪。

圖5表示以往的輸送裝置的一例，是從真空裝置的輸送方向的側(cè)方觀看的輸送裝置的示意圖。在圖5中，為了簡化，僅記載了托架102、被固定在托架102上的齒條107、以及小齒輪105。輸送裝置是保持被輸送物，由齒條和小齒輪機構(gòu)輸送托架102的裝置。在真空室的底面中央部，鋪設(shè)有規(guī)定托架102的輸送方向的輸送軌道。在托架102的底面設(shè)有2列齒條107，在輸送軌道側(cè)在多個部位設(shè)有與托架102的齒條107的各個嚙合的小齒輪105。

具有齒條107和小齒輪105的以往的輸送裝置存在以下的課題。

即，在真空處理裝置的真空室之間，當(dāng)從現(xiàn)工序的真空室的小齒輪105向下一工序的真空室的小齒輪105轉(zhuǎn)移齒條107而嚙合時，存在齒條107與小齒輪105的齒頂彼此沖撞的危險。

圖6為表示以往的齒條107與小齒輪105的嚙合關(guān)系的示意圖。另外，各個的齒頂由符號42、41表示，移動方向分別由符號38、39表示。若齒頂41、42彼此發(fā)生沖撞，則有時作用負(fù)荷，成為驅(qū)動機構(gòu)的停止的原因。另外，若齒條107的齒頂42來到小齒輪105的齒頂41上，則存在因返回到正常的嚙合時的沖撞、沖擊，導(dǎo)致由基板的破損、產(chǎn)生灰塵所引起的產(chǎn)品不合格的問題。

因此，為了解決這樣的問題，提出設(shè)有單向離合機構(gòu)的技術(shù)、使小齒輪在與小齒輪軸垂直的方向、軸向退讓的技術(shù)。此技術(shù)的目的在于，即使存在齒頂彼此沖撞，也自動地立刻使其恢復(fù)為正常的嚙合（例如參照專利文獻(xiàn)1）。

以往的設(shè)置單向離合器的技術(shù)及使小齒輪退讓的技術(shù)是在最初不修正齒條與小齒輪的相位關(guān)系，以后要使其恢復(fù)為正常的嚙合的想法。因此，為了避免齒條與小齒輪的沖撞，需要采取別的對策。

另一方面，提出一種輸送裝置（例如參照專利文獻(xiàn)2），該輸送裝置具有在長度方向設(shè)置有多個，至少1個與齒條嚙合地配置的步進(jìn)馬達(dá)驅(qū)動式的小齒輪和至少每2個對小齒輪進(jìn)行同步驅(qū)動的同步驅(qū)動機構(gòu)。另外，公開了改變一部分的齒條的齒頂形狀，避免與小齒輪的沖撞的技術(shù)（例如參照專利文獻(xiàn)3）。

現(xiàn)有技術(shù)文獻(xiàn)

專利文獻(xiàn)

專利文獻(xiàn)1：日本特開平11-247957號公報

專利文獻(xiàn)2：日本特開平9-291360號公報

專利文獻(xiàn)3：日本特開2011-137497號公報

發(fā)明內(nèi)容

發(fā)明所要解決的課題

按照專利文獻(xiàn)2的技術(shù)，在齒條與下一工序的小齒輪嚙合之前獲得同步，所以，能夠有效地避免小齒輪的齒撞上齒條的齒。然而，因為部件數(shù)量變多，所以，存在難以降低成本和縮短維修時間的問題。另外，按照專利文獻(xiàn)3的技術(shù)，也能夠有效地避免小齒輪的齒撞上齒條的齒。然而，存在對既能維持高的可靠性，又能夠進(jìn)一步降低成本的技術(shù)的需求。

本發(fā)明的目的在于提供一種能夠由簡單的結(jié)構(gòu)使齒條與小齒輪圓滑地嚙合的輸送裝置及具有該輸送裝置的真空處理裝置。

為了解決課題的手段

本發(fā)明的輸送裝置，其具有：齒條、第一小齒輪、以及第二小齒輪；該齒條設(shè)置在能夠進(jìn)退移動的托架，在任何部分齒頂?shù)男螤疃枷嗤辉摰谝恍↓X輪與齒條嚙合；該第二小齒輪在與第一小齒輪相比更靠托架的前進(jìn)方向側(cè)的位置與齒條嚙合，齒條，形成為當(dāng)?shù)谝恍↓X輪在齒條的中央部分嚙合，第二小齒輪在齒條的端部分嚙合時，齒條與第一小齒輪的齒隙比齒條與第二小齒輪的齒隙小。

發(fā)明的效果

按照本發(fā)明，能夠由簡單的機構(gòu)使齒條與小齒輪圓滑地嚙合，所以，能夠提供一種具有高可靠性的輸送裝置及具有該輸送裝置的真空處理裝置。

附圖說明

圖1為示意地表示本發(fā)明實施方式的配備多個真空處理室的真空處理裝置的一例的俯視圖。

圖2A、2B為從輸送方向觀看本發(fā)明的實施方式的輸送裝置的示意圖2A、從輸送方向的側(cè)方觀看本發(fā)明的實施方式的輸送裝置的示意圖2B。