[發明專利]保持固液界面水平的多晶硅鑄錠爐坩堝保溫裝置

無效

• 申請號: 201210411599.9
• 申請日: 2012-10-24
• 公開（公告）號: CN102888650A
• 公開（公告）日: 2013-01-23
• 發明（設計）人: 甘新式
• 申請（專利權）人: 嘉興嘉晶電子有限公司
• 主分類號: C30B11/00
• 分類號: C30B11/00;C30B28/06;C30B29/06
• 代理公司: 杭州金源通匯專利事務所(普通合伙) 33236
• 代理人: 唐迅

1.一種保持固液界面水平的多晶硅鑄錠爐坩堝保溫裝置，它主要包括陶瓷坩堝，其特征是在陶瓷坩堝外部包裹設有頂部隔熱板、側面隔熱筒和底部隔熱板，在陶瓷坩堝側邊設有石墨護板，石墨護板與陶瓷坩堝緊貼設置，在陶瓷坩堝底部設有熱交換臺，熱交換臺設有在立柱上，立柱穿過底部隔熱板，起支撐固定作用，在石墨護板外側設有側面加熱器，在陶瓷坩堝頂部上空設有頂部加熱器，在陶瓷坩堝頂面設有坩堝蓋板。

2.根據權利要求1所述的保持固液界面水平的多晶硅鑄錠爐坩堝保溫裝置，其特征是所述的側面加熱器與頂部加熱器連接，頂部加熱器固定在頂部隔熱板上。

3.根據權利要求1所述的保持固液界面水平的多晶硅鑄錠爐坩堝保溫裝置，其特征是在石墨護板與側面加熱器之間設有坩堝保溫板，坩堝保溫板與石墨護板緊貼設置，坩堝保溫板固定在支撐架上，支撐架穿過底部隔熱板與電動機連接，電動機通過支撐板帶動坩堝保溫板上下移動。

4.根據權利要求3所述的保持固液界面水平的多晶硅鑄錠爐坩堝保溫裝置，其特征是當坩堝保溫板處于最下方時，坩堝保溫板頂部與陶瓷坩堝底部持平。