[發明專利]一種晶體夾持裝置及區熔單晶爐

無效

• 申請號: 201210410412.3
• 申請日: 2012-10-24
• 公開（公告）號: CN102943302A
• 公開（公告）日: 2013-02-27
• 發明（設計）人: 周鵬;張繼宏;徐振斌;袁靜
• 申請（專利權）人: 北京京運通科技股份有限公司
• 主分類號: C30B13/00
• 分類號: C30B13/00;C30B29/06
• 代理公司: 北京同達信恒知識產權代理有限公司 11291
• 代理人: 黃志華

1.一種晶體夾持裝置，其特征在于，包括：夾晶固定盤，設置于所述夾晶固定盤中部、具有導向孔的鎖晶固定套，設置于所述夾晶固定盤周邊用于對單晶體進行第一次夾持的多個晶體夾持片機構，以及設置于所述夾晶固定盤周邊用于對單晶體進行第二次夾持的多個晶體夾持棒機構；其中，

每一個所述晶體夾持片機構包括：與所述夾晶固定盤固定連接的托板支撐柱，與所述托板支撐柱鉸接的夾持片托板，與所述夾持片托板一端連接的第一牽引絲，與所述第一牽引絲連接的第一牽引塊，滑動裝配在所述鎖晶固定套頂部導向孔中的導向桿，且所述導向桿的上端設置有夾持片，下端與所述夾持片托板相抵；

每一個所述晶體夾持棒機構包括：與所述夾晶固定盤固定連接的夾持棒支撐柱，與所述夾持棒支撐柱鉸接的夾持棒，與所述夾持棒一端連接的第二牽引絲，且所述第二牽引絲的長度小于所述第一牽引絲的長度，以及與所述第二牽引絲連接的第二牽引塊。

2.如權利要求1所述的晶體夾持裝置，其特征在于，所述夾持片具有圓弧形缺口。

3.如權利要求1所述的晶體夾持裝置，其特征在于，所述導向孔的中心線與豎直方向之間的夾角為銳角。

4.如權利要求3所述的晶體夾持裝置，其特征在于，所述導向孔的中心線與豎直方向之間的夾角小于30°，大于單晶體的圓錐母線與豎直方向之間的夾角。

5.如權利要求1所述的晶體夾持裝置，其特征在于，還包括設置于所述夾持棒一端的牽引柱，所述第二牽引絲與所述牽引柱連接。

6.如權利要求1所述的晶體夾持裝置，其特征在于，所述多個晶體夾持片機構和多個晶體夾持棒機構互相間隔的均勻分布在所述夾晶固定盤周邊。

7.如權利要求6所述的晶體夾持裝置，其特征在于，所述晶體夾持片機構數量為三個；所述晶體夾持棒機構數量為三個。

8.一種區熔單晶硅爐，其特征在于，包括如權利要求1-7任一所述的晶體夾持裝置。