[發(fā)明專利]太陽能電池用鍺單晶生長(zhǎng)的摻雜方法

有效

• 申請(qǐng)?zhí)枺?/td>: 201210407264.X
• 申請(qǐng)日: 2012-10-23
• 公開（公告）號(hào): CN102877121A
• 公開（公告）日: 2013-01-16
• 發(fā)明（設(shè)計(jì)）人: 王侃;吳紹華;子光平;符世繼;李睿;韓帥民;彭明清;侯明;陳驥;李茂忠
• 申請(qǐng)（專利權(quán)）人: 云南北方馳宏光電有限公司
• 主分類號(hào): C30B15/04
• 分類號(hào): C30B15/04;C30B29/08
• 代理公司: 昆明今威專利商標(biāo)代理有限公司 53115
• 代理人: 賽曉剛

1.太陽能電池用鍺單晶生長(zhǎng)的摻雜方法，其特征在于步驟如下：

步驟一，清洗干燥：將稱好的高純鍺放在清洗機(jī)熱水槽內(nèi)，升溫至40℃～65℃，然后將其依次放入熱水酸泡槽、超聲溢流槽，清洗至無殘酸，取出放入不銹鋼盤中，將洗好的鍺放入干燥箱中，設(shè)定加熱溫度為100℃～120℃，恒溫2～3小時(shí)，冷卻后取出；

步驟二，裝料：將清洗干燥后的高純鍺裝入單晶爐內(nèi)的坩堝中，然后將摻雜劑放在高純鍺間；

步驟三，抽真空：?jiǎn)?dòng)控制系統(tǒng)開始抽真空，待漏率檢驗(yàn)合格，設(shè)置氬氣流量為5～60sltm/min；

步驟四，加熱：打開加熱器，升溫化料；

步驟五，初步混合：當(dāng)坩堝內(nèi)的原料全部融化后控制坩堝轉(zhuǎn)速為3～10轉(zhuǎn)/分鐘，以0.2～0.8轉(zhuǎn)/分鐘的速度提高轉(zhuǎn)速，20~60分鐘后，以0.5～2轉(zhuǎn)/分鐘的速度降低轉(zhuǎn)速，如此反復(fù)3次及以上即達(dá)到摻雜元素在鍺中的初步混合；

步驟六，降溫：降低爐溫至939～948℃；

步驟七，均勻混合：將籽晶放下接觸鍺熔體，將籽晶轉(zhuǎn)速控制在5～20轉(zhuǎn)/分鐘，旋轉(zhuǎn)方向與坩堝旋轉(zhuǎn)方向相反，控制坩堝轉(zhuǎn)速3～10轉(zhuǎn)/分鐘，以0.2～0.8轉(zhuǎn)/分鐘的速度提高轉(zhuǎn)速，20～60分鐘后，以0.5～2轉(zhuǎn)/分鐘的速度降低轉(zhuǎn)速，如此反復(fù)3次及以上即達(dá)到摻雜元素在鍺中的均勻混合。

2.按照權(quán)利要求1所述的太陽能電池用鍺單晶生長(zhǎng)的摻雜方法，其特征在于摻雜劑可以是Ga、In、As、Sb的一種或幾種。

3.按照權(quán)利要求1所述的太陽能電池用鍺單晶生長(zhǎng)的摻雜方法，其特征在于根據(jù)摻雜劑與電阻率的關(guān)系，確定摻雜劑與區(qū)熔鍺的比例為1:3000。