[發明專利]平面鏡做動鏡的干涉儀中動鏡微傾角變化的檢測方法

有效

• 申請號: 201210405650.5
• 申請日: 2012-10-22
• 公開（公告）號: CN102927969A
• 公開（公告）日: 2013-02-13
• 發明（設計）人: 孫曉杰;華建文;代作曉;王志銳;陳仁;樊慶;夏翔;李濤;李文辰;王戰虎
• 申請（專利權）人: 中國科學院上海技術物理研究所
• 主分類號: G01C9/00
• 分類號: G01C9/00
• 代理公司: 上海新天專利代理有限公司 31213
• 代理人: 郭英

1.一種平面鏡做動鏡的干涉儀中動鏡微傾角變化的檢測方法，其特征在于包括如下步驟：

1）對透射面、反射面探測器的各路信號數據：透射水平左T_HL與反射水平左R_HL、透射水平右T_HR與反射水平右R_HR進行濾除直流和幅度歸一化，測量處于正交關系的T_HL與R_HL、T_HR與R_HR的過零點時間間隔：t_L和t_R，其中t_L為T_HL與R_HL過零點時間間隔，t_R為T_HR與R_HR的過零點時間間隔；

3）設定采樣時間間隔為T_s，計算T_HL與R_HL、T_HR與R_HR的初始相位差分別為：θ_L=t_L/T_s,θ_R＝t_R/T_s；

4）以T_HL、T_HR為基準，對R_HL、R_HR分別利用θ_L和θ_R進行相位補償：

R_HL=[R_HL-T_HLsin(θ_L)]/cos(θ_L)，

R_HR=[R_HR-T_HRsin(θ_R)]/cos(θ_R)，

得到具有理想正交特性的新信號對：T_HL與R_HL、T_HR與R_HR；

5）對新信號對T_HL與R_HL、T_HR與R_HR選取各自的值介于[-0.707,0.707]的交替進行反三角函數運算并做差得到相位差Δθ；

6）對相位差Δθ的周期性進行相位調整，對于相位變化大于2π的減去2π，相位變化小于-2π的要加上2π得到真實相位θ；

7）計算單次測量的動鏡實際微小傾角d為測量T_HL探測器與測量T_HR探測器的間距、λ為參考激光的波長；

8）連續測量記錄t_n次的單次傾角值α_i，測量時間為t=1/f_min＝t_nT_s，f_min為最低傾角測量頻率，計算平均值：

α‾=Σi=0tnαi/tn]]>

以該數值為動鏡微傾角的傾斜中心，持續測量圍繞傾斜中心的微傾角變化。