[發(fā)明專利]不同量子點沿一維納米線分段組裝的方法

有效

• 申請?zhí)枺?/td>: 201210405483.4
• 申請日: 2012-10-22
• 公開（公告）號: CN102916082A
• 公開（公告）日: 2013-02-06
• 發(fā)明（設計）人: 黃嬋燕;陳鑫;魏調(diào)興;孫艷;戴寧
• 申請（專利權(quán)）人: 中國科學院上海技術(shù)物理研究所
• 主分類號: H01L31/18
• 分類號: H01L31/18;B82Y30/00;B82Y40/00
• 代理公司: 上海新天專利代理有限公司 31213
• 代理人: 郭英

1.一種不同量子點沿一維納米線分段組裝的方法，其特征在于：它包括如下步驟：

首先，采用原子層沉積法在導電玻璃或硅襯底上沉積厚度為20-50納米的氧化鋅薄膜，并經(jīng)過450℃退火0.5-1小時，以該層薄膜為種子層采用水熱法制備垂直于襯底的氧化鋅納米線陣列；

其次，將納米線陣列浸泡在巰基丙酸溶液中2小時進行表面修飾，取出并用氮氣吹干再靜置2小時后浸泡到油相量子點溶液中12-24小時，完成第一種量子點在第一段納米線表面的組裝；然后，將該結(jié)構(gòu)浸泡在十八烷基三氯硅烷溶液中2小時，取出并在氮氣氛圍中自然干燥2小時后置于紫外燈下曝光1分鐘，再采用水熱法制備基于第一段納米線末端的第二段納米線；

接著將納米結(jié)構(gòu)浸泡在水相量子點溶液中12-24小時，完成第二種量子點在第二段納米線表面的組裝，并在快速退火爐中預充氮氣30分鐘，300℃熱處理5分鐘燒除納米結(jié)構(gòu)上的有機物，最終得到一種不同量子點沿一維納米線的分段組裝的納米復合結(jié)構(gòu)。

2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的一種不同量子點沿一維納米線分段組裝的方法，其特征在于：所述的原子層沉積法是在溫度為225-300℃、氣壓16-18hPa的真空腔體內(nèi)通過脈沖方式交替輸入氣相的反應前驅(qū)體二乙基鋅和水，沉積厚度控制精度達到納米量級的氧化鋅薄膜。

3.根據(jù)權(quán)利要求1所述的一種不同量子點沿一維納米線分段組裝的方法，其特征在于：所述的水熱法其過程是將0.02M的六水硝酸鋅、0.02M的六亞甲基四胺和1.5mM的聚乙烯亞胺混合配置成的前驅(qū)體溶液；并將該溶液與襯底放入聚四氟乙烯容器中，置于高壓釜內(nèi)在95℃環(huán)境下加熱6-14小時得到氧化鋅納米線陣列。

4.根據(jù)權(quán)利要求1所述的一種不同量子點沿一維納米線分段組裝的方法，其特征在于：所述的巰基丙酸溶液是將巰基丙酸以1:9的體積比溶解在甲醇中形成的混合溶液。

5.根據(jù)權(quán)利要求1所述的一種不同量子點沿一維納米線分段組裝的方法，其特征在于：所述的油相量子點溶液是將表面修飾了油酸、油胺和三正辛基氧化膦分子的無機半導體量子點溶解在氯仿、甲苯或四氯化碳非極性溶劑中所形成的均勻液體。

6.根據(jù)權(quán)利要求1所述的一種不同量子點沿一維納米線分段組裝的方法，其特征在于：所述的十八烷基三氯硅烷溶液是將十八烷基三氯硅烷以10ul:7.6ml的體積比溶解在正己烷中形成的混合溶液。

7.根據(jù)權(quán)利要求1所述的一種不同量子點沿一維納米線分段組裝的方法，其特征在于：所述的紫外燈曝光是在URE-2000/35型深紫外光刻機上實現(xiàn)的。

8.根據(jù)權(quán)利要求1所述的一種不同量子點沿一維納米線分段組裝的方法，其特征在于：所述的水相量子點溶液是將表面修飾有巰基丙酸等非極性分子的無機半導體量子點溶解在去離子水中所形成的均勻液體。