[發明專利]一種基于等厚干涉法的中心誤差的測量裝置

無效

• 申請號: 201210404997.8
• 申請日: 2012-10-22
• 公開（公告）號: CN102878956A
• 公開（公告）日: 2013-01-16
• 發明（設計）人: 馬天夢;李戀
• 申請（專利權）人: 中國科學院光電技術研究所
• 主分類號: G01B11/27
• 分類號: G01B11/27
• 代理公司: 中科專利商標代理有限責任公司 11021
• 代理人: 梁愛榮

1.一種基于等厚干涉法的中心誤差的測量裝置，其特征在于，所述測量裝置包括激光器(1)、會聚鏡(2)、星點板(3)、分光鏡(4)、參考鏡(5)、接收屏(6)、CCD探測器(7)、計算組(8)、調焦組(10)、折轉反射鏡(11)、被測透鏡(12)、連接工裝(13)和精密轉軸(14)，其中：

在激光器(1)的光軸上依次放置會聚鏡(2)、星點板(3)和分光鏡(4)，星點板(3)位于會聚鏡(2)的焦點上；激光器(1)發出的激光束經會聚鏡(2)會聚后，經過星點板(3)的濾波，形成濾波光束，濾波光束到達分光鏡(4)被分成參考光束和測量光束；

在參考光束的光軸方向上依次放置參考鏡(5)、接收屏(6)和CCD探測器(7)；在測量光束的光軸上依次放置調焦組(10)、折轉反射鏡(11)；在測量光束經過折轉反射鏡(11)轉折的光軸上依次放置被測透鏡(12)、連接工裝(13)和精密轉軸(14)；其中被測透鏡(12)通過連接工裝(13)固定在精密轉軸(14)上；

上述測量裝置的連接關系中，星點板(3)通過分光鏡(4)的反射與參考鏡(5)的曲率中心重合，又通過分光鏡(4)的透射與調焦組(10)的物面重合；而接收屏(6)則通過分光鏡(4)的透射與參考鏡(5)的曲率中心重合，又通過分光鏡(4)的反射與調焦組(10)的物面重合；即星點板(3)與接收屏(6)通過分光鏡(4)形成共軛關系；

當參考光束到達參考鏡(5)后，會被參考鏡(5)原路反射，通過分光鏡(4)，會聚在接收屏(6)上；

而測量光束在經過調焦組(10)的內部組件調焦鏡(9)的軸向移動而變換會聚和發散程度后，其會聚點與被測透鏡(12)中指定的被測鏡面(R1)的曲率中心接近或重合，則到達被測透鏡(12)的測量光束會被被測鏡面(R1)原路反射，再次通過折轉反射鏡(11)、調焦組(10)和分光鏡(4)后，與上述經過參考鏡(5)反射的參考光束發生干涉，然后發生干涉的參考光束和測量光束共同會聚在接收屏(6)；

撤掉接收屏(6)后，等厚干涉條紋被CCD探測器(7)接收，然后轉動精密轉軸(14)一周，CCD探測器(7)記錄條紋變化情況；

計算組(8)通過線路與CCD探測器(7)連接，通過計算組(8)對CCD探測器(7)記錄條紋變化進行計算，得出被測鏡面R1的中心誤差。