[發明專利]一種氣浮導軌

有效

• 申請號: 201210404463.5
• 申請日: 2012-10-22
• 公開（公告）號: CN102878203A
• 公開（公告）日: 2013-01-16
• 發明（設計）人: 李金龍;胡松;趙立新
• 申請（專利權）人: 中國科學院光電技術研究所
• 主分類號: F16C32/06
• 分類號: F16C32/06
• 代理公司: 中科專利商標代理有限責任公司 11021
• 代理人: 梁愛榮

1.一種氣浮導軌，其特征在于：所述氣浮導軌含有滑道、滑塊、左導向板、右導向板、蓋板，其中：

滑道，為一凹字形結構的滑道；凹字形結構由支撐面和凹字形垂直部組成；

滑塊為T字型結構，T字形結構包括凸字形垂直部和水平工作部組成，凸字形垂直部位于凹字形垂直部中，水平工作部的工作面與支撐面相互平行放置并滑動連接；

左導向板與右導向板對稱于安置滑塊的凸字形垂直部的兩側，并左導向板與右導向板位于滑道的凹字形垂直部中且滑動連接；

蓋板，具有多個進氣口、多個抽氣口，蓋板安置于滑塊的上面；滑塊的多個凹槽通過多個抽氣口與外界相連；滑塊的環形槽通過多個進氣口與外界相連。

2.如權利要求1所述的氣浮導軌，其特征在于：所述凹字形垂直部的內部含有左導向面、右導向面，左導向面與右導向面相互平行，左導向面7、右導向面與支撐面相互垂直。

3.如權利要求1所述的氣浮導軌，其特征在于：所述水平工作部除了其下部的水平工作面外，在水平工作部上部含有多個凹槽、多個通孔、多個環形槽和多個節流器，以每個通孔為中心并沿通孔的徑向向外依次為每個凹槽、環形槽、節流器，凹槽通過通孔與水平工作面相連通，環形槽位于水平工作面部的上部中，多個節流器分布于環形槽中，多個節流器固接在水平工作面部上，節流器自身包含孔狀結構，環形槽通過節流器與水平工作部的水平工作面相連。

4.如權利要求1所述的氣浮導軌，其特征在于：所述左導向板含有左導向工作面、左導向進氣口、左導向凹槽和多個左導向節流器，左導向凹槽通過左導向節流器與左導向工作面相連，左導向凹槽通過左導向進氣口與外界相連。

5.根據權利要求4所述氣浮導軌，其特征在于：所述右導向板含有右導向工作面、右導向進氣口、右導向凹槽和多個右導向節流器，右導向凹槽通過右導向節流器與右導向工作面相連，右導向凹槽通過右導向進氣口與外界相連。

6.根據權利要求5所述氣浮導軌，其特征在于：所述左導向工作面與左導向面的間距為5微米-30微米；所述右導向工作面與右導向面的間距為5微米-30微米。

7.根據權利要求3所述氣浮導軌，其特征在于：所述節流器是小孔節流器、環面節流器或多孔質節流器中的一種。

8.根據權利要求4所述氣浮導軌，其特征在于：所述左導向節流器是小孔節流器、環面節流器或多孔質節流器中的一種。

9.根據權利要求5所述氣浮導軌，其特征在于：所述右導向節流器為小孔節流器、環面節流器或多孔質節流器中的一種。

10.根據權利要求1所述氣浮導軌，其特征在于：在左導向板與滑塊之間安置O型圈并通過第一螺釘進行氣密封的連接；右導向板與滑塊之間安置O型圈并通過第二螺釘進行氣密封的連接；所述蓋板與滑塊之間安置O型圈并通過第三螺釘進行氣密封的連接。