[發明專利]一種超緊湊的表面等離激元多腔耦合系統

無效

• 申請號: 201210403382.3
• 申請日: 2012-10-22
• 公開（公告）號: CN102890383A
• 公開（公告）日: 2013-01-23
• 發明（設計）人: 陳建軍;張茹;肖井華;王晨
• 申請（專利權）人: 北京郵電大學
• 主分類號: G02F1/365
• 分類號: G02F1/365
• 代理公司: 北京萬象新悅知識產權代理事務所(普通合伙) 11360
• 代理人: 張肖琪

1.一種表面等離激元多腔耦合系統，其特征在于，所述表面等離激元多腔耦合系統包括：金屬-介質-金屬MIM波導，MIM波導為三層平板結構，第一層（1）和第三層（3）為金屬材料，二者之間為介質層（2）；以及從側面耦合在所述金屬-介質-金屬MIM波導上的多個共振波長不同的分支諧振腔（4），所述分支諧振腔（4）和介質層（2）為相同的介質。

2.如權利要求1所述的表面等離激元多腔耦合系統，其特征在于，所述MIM波導的第一層（1）和第三層（2）采用金或銀等金屬。

3.如權利要求1所述的表面等離激元多腔耦合系統，其特征在于，所述介質層（2）的厚度t在10納米至1微米之間。

4.如權利要求1所述的表面等離激元多腔耦合系統，其特征在于，兩個不同的所述分支諧振腔從側面耦合到MIM波導上，兩個諧振腔的長度d不同，之間的間距L在100nm～1000nm之間，適當地調節兩個分支諧振腔之間的間距L，使得從第一個分支諧振腔到第二個分支諧振腔的累積相位延遲其中，λ為入射波長。

5.如權利要求1所述的表面等離激元多腔耦合系統，其特征在于，n個不同的所述分支諧振腔從側面耦合到MIM波導上，相鄰的兩個分支諧振腔之間的間距L_m（m+1）在100nm～1000nm之間，調節各個相鄰的分支諧振腔之間的間距L_m（m+1），使得從第m個分支諧振腔到第m+1個分支諧振腔的累積相位延遲其中，n為≥3的自然數，m＜n且為自然數，λ為入射波長。

6.如權利要求1、4或5所述的表面等離激元多腔耦合系統，其特征在于，所述分支諧振腔的長度d在100nm～1000nm之間；寬度w在10nm～1000μm之間。

7.如權利要求1所述的表面等離激元多腔耦合系統，其特征在于，各個所述分支諧振腔從同一側面耦合在所述MIM波導上，或者從不同的側面耦合在所述MIM波導上。