[發明專利]探針卡平整度檢測方法有效
| 申請號： | 201210402378.5 | 申請日： | 2012-10-19 |
| 公開（公告）號： | CN102878974A | 公開（公告）日： | 2013-01-16 |
| 發明（設計）人： | 岳小兵;劉遠華;祈建華;湯雪飛;施瑾;葉守銀 | 申請（專利權）人： | 上海華嶺集成電路技術股份有限公司 |
| 主分類號： | G01B21/30 | 分類號： | G01B21/30 |
| 代理公司： | 上海思微知識產權代理事務所(普通合伙) 31237 | 代理人： | 周耀君 |
| 地址： | 201203 上海市浦*** | 國省代碼： | 上海;31 |
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| 摘要： | |||
| 搜索關鍵詞： | 探針 平整 檢測 方法 | ||
1.一種探針卡平整度檢測方法，其特征在于，包括：
移動探針臺，使得探針臺靠近所述探針卡中的探針；
根據測試機獲取的信號，判斷探針臺是否與探針接觸；
根據探針臺與探針接觸的先后順序，獲取探針卡的平整度。
2.如權利要求1所述的探針卡平整度檢測方法，其特征在于，在移動探針臺之前，所述探針臺與所述探針卡中的探針面的距離為300μm～800μm。
3.如權利要求1所述的探針卡平整度檢測方法，其特征在于，在與第一批探針接觸之前，所述探針臺按第一步長靠近探針，所述第一步長為10μm～30μm。
4.如權利要求3所述的探針卡平整度檢測方法，其特征在于，在與第一批探針接觸之后，所述探針臺按第二步長靠近探針，所述第二步長為1μm～5μm。
5.如權利要求3所述的探針卡平整度檢測方法，其特征在于，在與第一批探針接觸之后，所述探針臺先回走一個第一步長，然后繼續靠近探針，其中，所述繼續靠近探針時的步長小于第一步長。
6.如權利要求1至5中的任一項所述的探針卡平整度檢測方法，其特征在于，所述探針臺每間隔10ms～100ms移動一次。
7.如權利要求1至5中的任一項所述的探針卡平整度檢測方法，其特征在于，當所述探針臺與所有探針均接觸之后，所述探針臺停止靠近探針。
8.如權利要求1至5中的任一項所述的探針卡平整度檢測方法，其特征在于，所述探針臺上承載有IC芯片。
9.如權利要求1至5中的任一項所述的探針卡平整度檢測方法，其特征在于，根據探針臺與探針接觸的先后順序，獲取每根探針的長度，以得到探針卡的平整度。
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