[發(fā)明專利]一種使用西門子硅棒作原料拉硅單晶的方法

無效

• 申請?zhí)枺?/td>: 201210401002.2
• 申請日: 2012-10-19
• 公開（公告）號: CN103774213A
• 公開（公告）日: 2014-05-07
• 發(fā)明（設(shè)計(jì)）人: 丁欣
• 申請（專利權(quán)）人: 丁欣
• 主分類號: C30B15/00
• 分類號: C30B15/00;C30B29/06
• 代理公司: 暫無信息
• 代理人: 暫無信息

1.一種使用西門子硅棒作原料拉硅單晶的方法

權(quán)利要求為利用如圖所示的西門子法多晶硅棒連續(xù)進(jìn)給至坩堝中熔融，從而對坩堝中的熔融硅液的消耗實(shí)現(xiàn)連續(xù)補(bǔ)充拉制硅單晶的方法。

對硅棒的進(jìn)給方向進(jìn)行變更，比如將硅棒同水平形成非90度的銳角進(jìn)入以減少硅棒重力的影響均不構(gòu)成對本發(fā)明的合理回避。都屬于本專利的權(quán)利要求范圍。

為對硅棒的進(jìn)給增加傳感器，圖形采集裝置，伺服機(jī)構(gòu)，自控系統(tǒng)等，或者為控制硅棒熔融速度增加加熱或者冷卻裝置均視作本發(fā)明的具體實(shí)施方案。不構(gòu)成對本發(fā)明的合理回避，屬于本專利的權(quán)利要求范圍。

2.一種直拉單晶轉(zhuǎn)軸同坩堝軸心的偏心布置方式

附圖中單晶中心同坩堝中心的同軸布置僅為本專利的一種實(shí)現(xiàn)方式。如說明書所述，硅單晶同坩堝的旋轉(zhuǎn)軸心不處于同一直線上同樣形成本專利的一種實(shí)現(xiàn)方法。特別是硅單晶同棒狀多晶硅的中心線(或中心延長線)同坩堝液面的交點(diǎn)處于坩堝的同一直徑上，且至坩堝的中心距離相等的布置，為一種合理有效的實(shí)現(xiàn)方法。

上述單晶轉(zhuǎn)軸同坩堝軸心的偏心布置方式屬于本專利的權(quán)利要求范圍。