[發明專利]具有自對準溝道寬度的晶體管

有效

• 申請號: 201210399143.5
• 申請日: 2012-10-19
• 公開（公告）號: CN103066111A
• 公開（公告）日: 2013-04-24
• 發明（設計）人: 柳政澔;真鍋宗平
• 申請（專利權）人: 全視科技有限公司
• 主分類號: H01L29/423
• 分類號: H01L29/423;H01L29/78;H01L21/28;H01L21/336;H01L27/146
• 代理公司: 北京律盟知識產權代理有限責任公司 11287
• 代理人: 齊楊

1.一種裝置，其包括：

晶體管，其包括：

源極及漏極，其安置于襯底中；及

柵極，其安置于所述襯底上面，其中所述柵極包含：

第一縱向部件，其安置于所述源極及所述漏極上面且大致平行于所述晶體管的溝道延續，其中所述第一縱向部件安置于第一結隔離區上方；

第二縱向部件，其安置于所述源極及所述漏極上面且大致平行于所述晶體管的所述溝道延續，其中所述第二縱向部件安置于所述源極及所述漏極的與所述第一縱向部件相對的側上，且其中所述第二縱向部件安置于第二結隔離區上方；及

橫向部件，其大致垂直于所述晶體管的所述溝道延續且將所述第一縱向部件連接到所述第二縱向部件，其中所述橫向部件安置于所述源極及所述漏極上面以及其之間。

2.根據權利要求1所述的裝置，其中所述裝置包括圖像像素，所述裝置進一步包括：

光敏元件，其用于響應于光而積累圖像電荷；

浮動擴散區，其用以從所述光敏元件接收所述圖像電荷；及

傳送柵極，其安置于所述光敏元件與所述浮動擴散區之間以選擇性地將所述圖像電荷從所述光敏元件傳送到所述浮動擴散區，

其中所述晶體管經耦合以從所述浮動擴散區讀出所述圖像電荷。

3.根據權利要求2所述的裝置，其中傳送晶體管包含所述光敏元件、所述浮動擴散區及所述傳送柵極，且其中所述晶體管的所述柵極包含于所述圖像像素的任何晶體管中，所述傳送晶體管的所述傳送柵極除外。

4.根據權利要求2所述的裝置，其中所述柵極進一步包含：

第一包封部件，其平行于所述橫向部件延續且連接到所述第一縱向部件及所述第二縱向部件；

漏極腔，其安置于所述漏極上方且由所述第一包封部件、所述橫向部件以及所述第一及第二縱向部件的部分環繞；

第二包封部件，其平行于所述橫向部件延續且在所述第一及第二縱向部件的與所述第一包封部件相對的側上連接到所述第一縱向部件及所述第二縱向部件；及

源極腔，其安置于所述源極上方且由所述第二包封部件、所述橫向部件以及所述第一及第二縱向部件的部分環繞。

5.根據權利要求4所述的裝置，其中所述漏極腔在所述漏極上面對準，且所述源極腔在所述源極上面對準。

6.根據權利要求4所述的裝置，其中所述晶體管的所述溝道的寬度為所述第一縱向部件與所述第二縱向部件之間的距離。

7.根據權利要求4所述的裝置，其中所述源極及所述漏極包含輕摻雜區及高摻雜區。

8.根據權利要求1所述的裝置，其中所述晶體管的所述溝道的寬度為所述第一縱向部件與所述第二縱向部件之間的所述距離。

9.根據權利要求1所述的裝置，其中所述源極及所述漏極包含輕摻雜區及高摻雜區。

10.根據權利要求9所述的裝置，其中所述源極的所述高摻雜區及所述漏極的所述高摻雜區偏移而不在所述橫向部件下方對準。

11.根據權利要求1所述的裝置，其中所述源極的至少一部分及所述漏極的至少一部分在所述橫向部件、所述第一縱向部件的內側邊緣及所述第二縱向部件的內側邊緣下方對準。

12.根據權利要求1所述的裝置，其中所述漏極及所述源極為大致T形的。