[發(fā)明專利]一種用于非晶硅沉積的控制系統(tǒng)

有效

• 申請?zhí)枺?/td>: 201210398114.7
• 申請日: 2012-10-19
• 公開（公告）號: CN103774121A
• 公開（公告）日: 2014-05-07
• 發(fā)明（設(shè)計）人: 陳五奎;雷曉全;任陳平;王斌
• 申請（專利權(quán)）人: 陜西拓日新能源科技有限公司
• 主分類號: C23C16/52
• 分類號: C23C16/52;C23C16/24
• 代理公司: 北京漢昊知識產(chǎn)權(quán)代理事務(wù)所(普通合伙) 11370
• 代理人: 孟海娟

技術(shù)領(lǐng)域

本發(fā)明涉及自動控制領(lǐng)域，具體涉及一種用于非晶硅沉積的控制系統(tǒng)。

背景技術(shù)

當(dāng)前，我們國家在非晶硅產(chǎn)業(yè)化的過程中，主要模式是外購國外的設(shè)備，國外設(shè)備多結(jié)構(gòu)復(fù)雜并且由國外技術(shù)人員調(diào)試，設(shè)備工藝參數(shù)一經(jīng)確定很難以改動，從設(shè)備研發(fā)和工藝調(diào)整均受制于人，產(chǎn)品更新?lián)Q代緩慢，且受行業(yè)危機影響，非晶硅的研發(fā)也停滯不前，不利于行業(yè)的技術(shù)創(chuàng)新和非晶硅產(chǎn)業(yè)技術(shù)升級與產(chǎn)品換代。

發(fā)明內(nèi)容

為了解決上述問題，本發(fā)明提供了一種用于非晶硅沉積的控制系統(tǒng)。

本發(fā)明的技術(shù)方案是：一種用于非晶硅沉積的控制系統(tǒng)，包括處理器，以及分別與處理器連接的真空傳感器、氬氣閥、氮氣閥、起輝電源和用于抽真空的泵。

上述的一種用于非晶硅沉積的控制系統(tǒng)，所述處理器和氬氣閥之間還設(shè)置有質(zhì)量流程控制器，所述處理器和氮氣閥之間還設(shè)置有質(zhì)量流程控制器。

上述的一種用于非晶硅沉積的控制系統(tǒng)，所述的泵是羅茨泵。

上述的一種用于非晶硅沉積的控制系統(tǒng)，所述的泵包括相互獨立的機械泵和羅茨泵。

上述的一種用于非晶硅沉積的控制系統(tǒng)，所述的起輝電源是AE電源。

上述的一種用于非晶硅沉積的控制系統(tǒng)，所述的處理器是PLC。

本發(fā)明的有益效果是：使用真空傳感器測量真空的壓力變化數(shù)據(jù)，將數(shù)據(jù)發(fā)送至PLC進行數(shù)據(jù)處理，進一步調(diào)節(jié)自動閥門開度，配合控制閥來自動控制室內(nèi)壓力。質(zhì)量流量控制器，測量氣體的流量變化數(shù)據(jù)發(fā)送PLC進行氣體流量數(shù)據(jù)處理。本發(fā)明結(jié)構(gòu)簡單，參數(shù)修改方便快捷，能滿足工藝對流量的精確控制要求。

附圖說明

圖1為本發(fā)明的結(jié)構(gòu)示意框圖。

具體實施方式

下面結(jié)合附圖對本發(fā)明作進一步的說明。

如圖1所示的本發(fā)明的結(jié)構(gòu)示意框圖，一種用于非晶硅沉積的控制系統(tǒng)，包括處理器，以及分別與處理器連接的真空傳感器、氬氣閥、氮氣閥、起輝電源和用于抽真空的泵，所述的處理器優(yōu)選PLC，所述的起輝電源優(yōu)選AE電源。

上述的一種用于非晶硅沉積的控制系統(tǒng)，所述處理器和氬氣閥之間還設(shè)置有質(zhì)量流程控制器，所述處理器和氮氣閥之間還設(shè)置有質(zhì)量流程控制器。

上述的一種用于非晶硅沉積的控制系統(tǒng)，所述的泵是羅茨泵。

上述的一種用于非晶硅沉積的控制系統(tǒng)，所述的泵包括相互獨立的機械泵和羅茨泵，所述的機械泵用于對對非晶硅等離子體沉積設(shè)備進行初抽真空，當(dāng)真空度到達1.0*10后啟動羅茨泵進行二級抽空。當(dāng)真空度達到1.0*10-2時，PLC通過控制氬氣閥向設(shè)備內(nèi)通入300sccm氬氣，制造氬氣沉積環(huán)境，氬氣通入后，設(shè)備室內(nèi)壓力會升高，當(dāng)壓力升高到5.0*10-1時，PLC向AE電源發(fā)出開啟信號，在氬氣環(huán)境下進行起輝30s，起輝完成后關(guān)閉電源，PLC通過控制氮氣閥向設(shè)備內(nèi)通入355sccm氮氣對設(shè)備進行降溫沖壓，以便于打開設(shè)備蓋板，完成沉積。

以上所述僅是本發(fā)明的優(yōu)選實現(xiàn)方式，應(yīng)當(dāng)指出，對于本技術(shù)領(lǐng)域的普通技術(shù)人員來說，在不脫離本發(fā)明技術(shù)原理的前提下，還可以做出若干改進和潤飾，這些改進和潤飾也應(yīng)視為本發(fā)明的保護范圍。