[發(fā)明專利]一種雙工作模式MEMS光學探頭

有效

• 申請?zhí)枺?/td>: 201210397955.6
• 申請日: 2012-10-18
• 公開（公告）號: CN103054544A
• 公開（公告）日: 2013-04-24
• 發(fā)明（設計）人: 傅霖來;謝會開
• 申請（專利權）人: 無錫微奧科技有限公司
• 主分類號: A61B1/05
• 分類號: A61B1/05;G01N21/954;G01N21/88;G02B23/24
• 代理公司: 南京經(jīng)緯專利商標代理有限公司 32200
• 代理人: 樓高潮

1.?一種雙工作模式MEMS光學探頭，包括帶有窗口座的探頭管殼和設于所述探頭管殼內(nèi)的探頭主體，其特征在于，所述探頭主體包括主體基座、帶基座的MEMS微鏡、與光纖連接的第一透鏡組件和第二透鏡組件；與外部驅(qū)動電路電連接的所述MEMS微鏡固定于所述主體基座前端；所述第一透鏡組件固定與所述主體基座一側，其通過所述MEMS微鏡的橫向偏轉實現(xiàn)前向或側前向掃描光束的前向掃描或側前向掃描；所述第二透鏡組件固定于所述主體基座另一側，其通過所述MEMS微鏡的橫向偏轉實現(xiàn)側向掃描光束的側向掃描。

2.如權利要求1所述的一種雙工作模式MEMS光學探頭，其特征在于，所述第一透鏡組件和第二透鏡組件同時采集經(jīng)MEMS微鏡反射回來的樣品漫反射光，或者僅有其中一路采集樣品漫反射光進入OCT圖像處理系統(tǒng)。

3.如權利要求1所述的一種雙工作模式MEMS光學探頭，其特征在于，所述窗口座設于所述主體基座前端，所述側向掃描光束和前向或側前向掃描光束透過所述窗口座分別對樣品進行掃描。

4.如權利要求1或3所述的一種雙工作模式MEMS光學探頭，其特征在于，所述窗口座采用對工作波長光透明的材料制成或在所述窗口座上形成兩個采用平面或曲面窗片進行密封的窗口。

5.如權利要求4所述的一種雙工作模式MEMS光學探頭，其特征在于，所述MEMS微鏡的電連接方式是在所述主體基座上直接形成，或者采用PCB、陶瓷電路板安放于所述主體基座上的相應位置后形成電連接通路。

6.如權利要求1或5所述的一種雙工作模式MEMS光學探頭，其特征在于，所述主體基座前端與后端分別設有通過電連接的前端電接口和后端電接口；所述MEMS微鏡與所述前端電接口連接。

7.如權利要求6所述的一種雙工作模式MEMS光學探頭，其特征在于，所述主體基座上下兩端分別設有凹槽，所述第一透鏡組件和第二透鏡組件分別設于所述凹槽內(nèi)。

8.如權利要求7所述的一種雙工作模式MEMS光學探頭，其特征在于，所述第一透鏡組件和第二透鏡組件包括玻璃管外殼，所述玻璃管外殼內(nèi)設有依次連接的光纖、毛細玻璃管和格林透鏡，所述第一透鏡組件還包括設于所述格林透鏡外端面的三棱鏡，所述三棱鏡一直角面與所述格林透鏡的外端面膠粘連接，所述第二透鏡組件的格林透鏡的出射端面具有4-8度倒角。

9.如權利要求8所述的一種雙工作模式MEMS光學探頭，其特征在于，所述第一透鏡組件和第二透鏡組件采用透鏡和光纖在主體基座凹槽內(nèi)直接形成，第二透鏡組件的格林透鏡外端面與三棱鏡一直角面膠粘連接。

10.如權利要求6所述的一種雙工作模式MEMS光學探頭，其特征在于，所述MEMS微鏡包括邊框、雙金屬驅(qū)動臂、微鏡?、雙金屬韌帶和帶有焊盤的基座，所述邊框四側內(nèi)壁分別通過所述雙金屬驅(qū)動臂與微鏡連接，所述雙金屬驅(qū)動臂與雙金屬韌帶采用電熱方式工作，通過給所述雙金屬驅(qū)動臂和雙金屬韌帶施加預定頻率的電壓信號實現(xiàn)微鏡的偏轉；所述邊框底端通過所述雙金屬韌帶與基座連接；通過控制所述雙金屬韌帶的彎曲程度控制所述微鏡的鏡面與水平面的角度。

11.如權利要求10所述的一種雙工作模式MEMS光學探頭，其特征在于，所述雙金屬驅(qū)動臂和所述雙金屬韌帶是多層具有不同熱膨脹系數(shù)的材料構成。

12.如權利要求10所述的一種雙工作模式MEMS光學探頭，其特征在于，所述邊框為圓形或方形或多邊形結構。

13.如權利要求1所述的一種雙工作模式MEMS光學探頭，其特征在于，所述探頭管殼截面為圓形或多邊形，其采用醫(yī)學兼容的不銹鋼或玻璃或有機高分子聚合物制成。