[發明專利]鐵或不銹鋼表面鍍氮化釩膜的方法無效
| 申請號： | 201210396708.4 | 申請日： | 2012-10-18 |
| 公開（公告）號： | CN102877034A | 公開（公告）日： | 2013-01-16 |
| 發明（設計）人： | 黃雙華;賴奇;鄒敏 | 申請（專利權）人： | 攀枝花學院 |
| 主分類號： | C23C14/34 | 分類號： | C23C14/34;C23C14/06 |
| 代理公司： | 成都虹橋專利事務所 51124 | 代理人： | 梁鑫 |
| 地址： | 617000 四*** | 國省代碼： | 四川;51 |
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| 摘要： | |||
| 搜索關鍵詞： | 不銹鋼 表面 氮化 方法 | ||
【權利要求書】：
1.鐵或不銹鋼表面鍍氮化釩膜的方法，其特征在于，采用等離子體物理濺射技術，將釩等離子體化，再通入氮氣，然后在鐵或不銹鋼材料表面鍍膜。
2.根據權利要求1所述的鐵或不銹鋼表面鍍氮化釩膜的方法，其特征在于：所述濺射條件為：濺射爐功率66-252W，負偏壓0-160V，爐內氣體壓力0.5-10Pa，氮氬比0.06-1。
3.根據權利要求2所述的鐵或不銹鋼表面鍍氮化釩膜的方法，其特征在于：所述濺射條件為：濺射爐功率165-252W，負偏壓120-160V，爐內氣體壓力0.6Pa，氮氬比2/15。
4.根據權利要求3所述的鐵或不銹鋼表面鍍氮化釩膜的方法，其特征在于：所述濺射條件為：靶距50mm，沉積時間20-80min。
5.根據權利要求4所述的鐵或不銹鋼表面鍍氮化釩膜的方法，其特征在于，所述不銹鋼材料為201型不銹鋼，濺射爐功率252W，負偏壓160V，沉積時間60min。
6.根據權利要求4所述的鐵或不銹鋼表面鍍氮化釩膜的方法，其特征在于，所述不銹鋼材料為316型不銹鋼，濺射爐功率252W，負偏壓120V，沉積時間60min。
7.根據權利要求4所述的鐵或不銹鋼表面鍍氮化釩膜的方法，其特征在于，所述不銹鋼材料為316型不銹鋼，濺射爐功率165W，負偏壓160V，沉積時間60min。
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