[發明專利]用于制造光電模塊的設備和方法

有效

• 申請號: 201210394947.6
• 申請日: 2012-10-15
• 公開（公告）號: CN103050570A
• 公開（公告）日: 2013-04-17
• 發明（設計）人: 安德烈·巴奇尼;馬可·加喬托;托馬斯·米切爾勒蒂;戴戈·唐尼;約翰·特勒;馬可·瑪伊奧利尼;安德烈·薩特雷圖
• 申請（專利權）人: 應用材料意大利有限公司
• 主分類號: H01L31/18
• 分類號: H01L31/18
• 代理公司: 北京東方億思知識產權代理有限責任公司 11258
• 代理人: 柳春雷

1.一種用于制造光電模塊的系統，包括：

第一生產線，其包括：

兩個以上定位站，其被沿著第一縱軸布置并且都適合于執行一個或多個光電模塊處理操作；以及

第二生產線，其包括：

至少一個定位站，其與基本與所述第一縱軸平行的第二縱軸共線，其中，所述至少一個定位站適合于執行一個或多個光電模塊處理操作。

2.根據權利要求1所述的系統，其中，所述兩個以上定位站中的一者包括印刷站。

3.根據權利要求1所述的系統，其中，在所述第一生產線中的所述兩個以上定位站還包括：

第一定位站，其沿著所述第一縱軸布置并且被構造為接收光電模塊的第一層；以及

第二定位站，其沿著所述第一縱軸布置并且被構造為接收從所述第一定位站通過使用第一機器人裝置而傳送來的所述第一層，其中，印刷站被沿著第一橫軸布置，所述第一橫軸與所述第一縱軸橫切排列并穿過所述第二定位站。

4.根據權利要求3所述的系統，其中，所述第二定位站包括第二支撐裝置，其具有被構造為將所接收到的所述第一層相對于所述印刷站確定朝向和/或定位的致動器。

5.根據權利要求4所述的系統，其中，所述第二支撐裝置可沿著所述第一橫軸平移。

6.根據權利要求1所述的系統，其中，所述第二生產線至少包括第三定位站，其被構造為通過使用切割裝置來選擇性地切割來自輥的絕緣材料的層，以形成一個或多個絕緣材料的片。

7.根據權利要求6所述的系統，其中，所述系統還包括第一傳送裝置，其被構造為沿著所述第二縱軸傳送所述一個或多個絕緣材料的片。

8.根據權利要求6所述的系統，其中，所述系統還包括第二傳送裝置，其被構造為將所述一個或多個片中的一者從所述第二生產線中的位置傳送到所述第一生產線中的位置。

9.根據權利要求8所述的系統，其中，所述第一生產線還包括第四定位站，其被布置在所述第一生產線中的所述第一位置下游，并且適合于將多個光電電池定位在所述一個或多個片上。

10.根據權利要求6所述的系統，其中，所述第二生產線還包括適合于在所述一個或多個片中形成多個孔的裝置。

11.根據權利要求6所述的系統，其中，所述第二生產線還包括這樣的裝置，其包括：

沖孔頭，其具有多個沖孔器；以及

板，其具有所述沖孔器能夠從其穿過的多個通孔以及與真空源耦合的多個真空孔，其中，所述真空孔被構造為當在所述真空孔中形成低于大氣壓的壓力時，使得所述一個或多個片中的一者粘附到所述板的表面。

12.根據權利要求3所述的系統，其中，所述第一生產線還包括第四定位站，其包括傳送帶、第二機器人裝置和第三機器人裝置，并且其中，所述第三機器人裝置適合于將導電材料的多個帶定位在每個光電模塊的預定區域中。

13.根據權利要求12所述的系統，還包括第四機器人裝置，其被布置為接近所述第一生產線和所述第二生產線的末端，并且被構造為將絕緣材料的層從所述第二生產線轉移到所述第一生產線中的第二位置，并且其中，所述第四機器人裝置也被構造為接收并傳送層。

14.一種形成光電模塊的方法，包括：

將所述光電模塊的第一層裝載到布置于多個定位站中的一者中的第一支撐裝置上，并且之后相對于印刷站定位所述第一層和所述第一支撐裝置，所述多個定位站沿著第一生產線的第一縱軸布置；

在所述印刷站中將導電材料沉積在所述第一層的表面上；以及

在裝載所述第一層或者在將導電材料沉積在所述第一層的表面上的同時，制備絕緣材料的第一層，其中，制備絕緣材料的第一層包括切割所述絕緣材料以形成片，并且切割所述絕緣材料是在沿著第二生產線的第二縱軸布置的多個定位站中的一者中執行的。

15.根據權利要求14所述的方法，還包括：

在所述第一層的表面上定位多個光電裝置，其中，定位多個光電裝置是在所述第一生產線中的第一定位站中執行的，并且將所述光電模塊的所述第一層裝載到所述第一支撐裝置上是在所述第一生產線中的第二定位站中執行的。