[發(fā)明專利]藍寶石基板的磨削方法有效
| 申請?zhí)枺?/td> | 201210394345.0 | 申請日： | 2012-10-17 |
| 公開（公告）號： | CN103056737A | 公開（公告）日： | 2013-04-24 |
| 發(fā)明（設計）人： | 臺井曉治;五木田洋平 | 申請（專利權）人： | 株式會社迪思科 |
| 主分類號： | B24B7/22 | 分類號： | B24B7/22;B24B7/04;B24B41/06 |
| 代理公司： | 北京三友知識產(chǎn)權代理有限公司 11127 | 代理人： | 李輝;黃綸偉 |
| 地址： | 日本*** | 國省代碼： | 日本;JP |
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| 摘要： | |||
| 搜索關鍵詞： | 藍寶石 磨削 方法 | ||
【權利要求書】：
1.一種藍寶石基板的磨削方法，使用磨削裝置對藍寶石基板進行磨削，該磨削裝置具備：卡盤臺，其可旋轉，并具有保持被加工物的保持面；磨削部件，其具有磨削輪，在該磨削輪上以環(huán)狀配設有磨削磨石，該磨削磨石是用接合劑固定金剛石磨粒而成的，該金剛石磨粒用于對該卡盤臺所保持的被加工物進行磨削；以及磨削進給部件，其在相對于該卡盤臺的保持面垂直的磨削進給方向上對該磨削部件進行磨削進給，
該藍寶石基板的磨削方法的特征在于具備：
保持步驟，在該卡盤臺的保持面上保持藍寶石基板；以及
磨削步驟，在使保持了藍寶石基板的該卡盤臺旋轉的同時，使該磨削輪旋轉，并定位為該磨削磨石通過該卡盤臺的中心，使該磨削進給部件進行工作而進行磨削進給，
在該磨削步驟中，該卡盤臺的旋轉速度被設定為500rpm～1000rpm，該磨削輪的旋轉速度被設定為500rpm～800rpm。
2.根據(jù)權利要求1所述的藍寶石基板的磨削方法，其中，該卡盤臺的旋轉速度被設定為700rpm～800rpm，該磨削輪的旋轉速度被設定為600rpm～700rpm。
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