[發明專利]一種真空腔內轉動部件的定位裝置

有效

• 申請號: 201210390288.9
• 申請日: 2012-10-15
• 公開（公告）號: CN102881547A
• 公開（公告）日: 2013-01-16
• 發明（設計）人: 王佳;劉訓春;席峰;夏洋
• 申請（專利權）人: 中國科學院微電子研究所;北京泰龍電子技術有限公司
• 主分類號: H01J37/244
• 分類號: H01J37/244
• 代理公司: 北京市德權律師事務所 11302
• 代理人: 劉麗君

1.一種真空腔內轉動部件的定位裝置，其特征在于，包括激光反射裝置、密封部件、腔體外玻璃密封件和密封框架；所述激光反射裝置位于反應室內，并與所述密封框架的頂端通過螺紋連接；所述密封框架由下向上裝入反應室，并通過螺釘與反應室固定連接；所述腔體外玻璃密封件與密封框架的底端通過螺紋連接；所述反應室與密封框架連接之處設置有所述密封部件；所述腔體外玻璃密封件與密封框架底端連接之處設置有所述密封部件和玻璃。

2.如權利要求1所述的真空腔內轉動部件的定位裝置，其特征在于，所述密封框架的頂端和底端具有外螺紋，所述密封框架的一側設置有防污狹縫缺口。

3.如權利要求1所述的真空腔內轉動部件的定位裝置，其特征在于，所述激光反射裝置具有內螺紋。

4.如權利要求3所述的真空腔內轉動部件的定位裝置，其特征在于，所述激光反射裝置內部設置有金屬反射面。

5.如權利要求4所述的真空腔內轉動部件的定位裝置，其特征在于，所述金屬反射面為鋁金屬反射面。

6.如權利要求1所述的真空腔內轉動部件的定位裝置，其特征在于，所述腔體外玻璃密封件的中心設置有通孔，所述腔體外玻璃密封件具有內螺紋。

7.如權利要求1所述的真空腔內轉動部件的定位裝置，其特征在于，所述密封部件為“O”型密封圈。

8.如權利要求1所述的真空腔內轉動部件的定位裝置，其特征在于，所述密封框架由金屬鋁制作而成，并且具有雙密封法蘭接口。

9.如權利要求8所述的真空腔內轉動部件的定位裝置，其特征在于，所述雙密封法蘭接口上分別設置有燕尾式密封槽。