[發明專利]一種多晶硅鑄錠爐及其坩堝

有效

• 申請號: 201210389622.9
• 申請日: 2012-10-15
• 公開（公告）號: CN102912414A
• 公開（公告）日: 2013-02-06
• 發明（設計）人: 姜磊;榮丹丹;呂景記;魏文秀;楊杰
• 申請（專利權）人: 天津英利新能源有限公司
• 主分類號: C30B11/00
• 分類號: C30B11/00;C30B28/06;C30B29/06
• 代理公司: 北京集佳知識產權代理有限公司 11227
• 代理人: 魏曉波

1.一種多晶硅鑄錠爐，包括設于爐腔內的頂部加熱器和側面加熱器，其特征在于，還包括設于爐腔內的中心加熱器，以便對坩堝內的中部硅料進行加熱。

2.如權利要求1所述的多晶硅鑄錠爐，其特征在于，所述中心加熱器通過電極頭和中心銅電極固定在上爐體上，所述電極頭的下端與所述中心加熱器固接，且其上端穿過頂部隔熱層并與所述中心銅電極的下端固接；所述中心銅電極固裝在所述上爐體上，且其上端連接電纜；所述中心加熱器的內壁設有測溫計，用于將中部溫區的溫度反饋至可編程控制器；所述可編程控制器用于控制中心加熱器的加熱時間。

3.如權利要求2所述的多晶硅鑄錠爐，其特征在于，所述電纜和所述中心銅電極的中心部分通純水。

4.如權利要求2所述的多晶硅鑄錠爐，其特征在于，所述中心銅電極和所述電極頭通過螺紋連接。

5.如權利要求2所述的多晶硅鑄錠爐，其特征在于，所述電極頭通過石墨螺桿和石墨螺母與所述中心加熱器固定連接。

6.如權利要求2至5任一項所述的多晶硅鑄錠爐，其特征在于，所述電極頭與所述頂部隔熱層之間設有陶瓷墊片。

7.如權利要求2至5任一項所述的多晶硅鑄錠爐，其特征在于，所述中心銅電極和所述上爐體之間設有絕緣層。

8.如權利要求2至5任一項所述的多晶硅鑄錠爐，其特征在于，所述中心加熱器具有中空圓柱形結構。

9.一種用于多晶硅鑄錠爐的坩堝，其特征在于，所述坩堝的中心部位設有通孔，用于放置所述多晶硅鑄錠爐的中心加熱器。