[發明專利]兆聲波換能器的連接蓋

有效

• 申請號: 201210388571.8
• 申請日: 2012-10-12
• 公開（公告）號: CN102873020A
• 公開（公告）日: 2013-01-16
• 發明（設計）人: 初國超;吳儀;王銳廷
• 申請（專利權）人: 北京七星華創電子股份有限公司
• 主分類號: B06B1/06
• 分類號: B06B1/06;B08B3/12
• 代理公司: 北京路浩知識產權代理有限公司 11002
• 代理人: 王瑩

技術領域

本發明涉及半導體工藝技術領域，特別涉及一種兆聲波換能器的連接蓋。

背景技術

半導體清洗工藝面對集成電路線寬越變越小，影響硅片不良率的粒子越來越小，而顆粒越小越難清洗的挑戰時，兆聲波清洗越來越受到人們的重視，兆聲波清洗的機理是由高能頻振效應并結合化學清洗劑的化學反應對硅片進行清洗的。在清洗時，由換能器發出波長為1μm頻率為0.8兆赫的高能聲波，溶液分子在這種聲波的推動下作加速運動，最大瞬時速度可達到30cm/s。因此，形成不了超聲波清洗那樣的氣泡，而只能以高速的流體波連續沖擊晶片表面，使硅片表面附著的污染物的細小微粒被強制除去并進入到清洗液中。但是在產生高能聲波的同時由于往復和高頻振動不可避免的會釋放出一些熱量，當熱量長時間堆積并且得不到釋放將嚴重影響換能器產生高能波的能力和相應元件的使用時間后壽命，所以為了更好的保證兆聲波清洗的效果和換能器的使用壽命，與其相配套的冷卻是非常有必要的。

發明內容

（一）要解決的技術問題

本發明要解決的技術問題是，針對現有技術的不足，提供一種兆聲波換能器的連接蓋，具有能夠冷卻壓電晶體以及將氣液隔離的密封結構，使壓電晶體頻繁振動產生的熱量迅速散掉不積累。

（二）技術方案

本發明提供一種兆聲波換能器的連接蓋，包括：連接蓋本體、環形內腔、凹槽、冷卻氣進氣通道和冷卻氣出氣通道，所述環形內腔外側壁與連接蓋本體內側壁連接，所述凹槽至少為一個，其均勻設置在環形內腔內側壁上，所述冷卻氣進氣通道一端的進氣口設置于連接蓋本體上，另一端氣口設置于環形內腔內側壁上，所述冷卻氣出氣通道一端的出氣口設置于連接蓋本體上，另一端氣口設置于環形內腔外側壁上。

其中，兆聲波換能器的連接蓋還包括：位于連接蓋本體與兆聲波換能器接觸端面上的連接螺紋孔以及連接蓋本體頂端開設的電纜固定孔。

其中，所述連接蓋本體材料為非金屬材料，其外形為任意一個幾何形狀。

其中，所述連接蓋本體外形為圓柱形、長方柱形或三角柱形。

其中，所述連接蓋本體材料為聚四氟乙烯、聚四氟乙烯烷氧基樹脂、聚偏氟乙烯或聚醚醚酮樹脂。

其中，所述設置在所述連接蓋本體上的冷卻氣進氣通道一端的進氣口和冷卻氣出氣通道一端的出氣口不在同一水平線上。

其中，所述凹槽為任意一個幾何形狀。

其中，所述凹槽為半圓形、長方形或正方形。

（三）有益效果

本發明提供的兆聲波換能器的連接蓋，在實現連接功能的前提下，具有能夠冷卻壓電晶體以及將氣液隔離的密封結構，使壓電晶體頻繁振動產生的熱量迅速散掉不積累，并且保證了相對獨立的環境，提高了壓電晶體的連續工作時間和使用壽命。

附圖說明

圖1為本發明兆聲波換能器的連接蓋內部結構示意圖；

圖2為本發明兆聲波換能器的連接蓋外部結構示意圖；

圖3a-圖3b為本發明兆聲波換能器的連接蓋工作原理圖。

具體實施方式

下面結合附圖和實施例，對本發明的具體實施方式作進一步詳細描述。以下實施例用于說明本發明，但不用來限制本發明的范圍。

如圖1所示，本發明提供的兆聲波換能器的連接蓋，包括：連接蓋本體1、環形內腔4、凹槽5、冷卻氣進口6和冷卻氣出口7，所述環形內腔4外側壁與連接蓋本體1內側壁連接，所述凹槽5至少為一個，其均勻設置在環形內腔4內側壁上，所述凹槽5為任意一個幾何形狀，如：半圓形、長方形或正方形；所述冷卻氣進氣通道一端的進氣口6設置于連接蓋本體1上，另一端氣口設置于環形內腔4內側壁上，所述冷卻氣出氣通道一端的出氣口7設置于連接蓋本體1上，另一端氣口設置于環形內腔4外側壁上。兆聲波換能器的連接蓋還包括：位于連接蓋本體1與兆聲波換能器12接觸端面上的連接螺紋孔3以及連接蓋本體1頂端開設的電纜固定孔2；所述連接蓋本體1通過所述連接螺紋孔3與兆聲波換能器12連接固定，所述電纜固定孔2用來固定連接壓電晶體9和功率放大器的同軸電纜接頭8的，通過電纜接頭8上的密封圈安裝后形成密封環境。所述連接蓋本體1材料為非金屬材料，具體地，所述連接蓋本體1材料為聚四氟乙烯（PTFE）或其他防腐蝕性好，且機械加工性能和強度高的非金屬材料，其外形為任意一個幾何形狀，如：圓柱形、長方柱形或三角柱形。

如圖2所示，所述設置在所述連接蓋本體1上的冷卻氣進氣通道一端的進氣口6和冷卻氣出氣通道一端的出氣口7不在同一水平線上。另外所述冷卻氣進氣通道比所述冷卻氣出氣通道長度略長。