[發(fā)明專利]一種偏振無關(guān)窄帶彩色濾光片及制作方法無效
| 申請?zhí)枺?/td> | 201210388245.7 | 申請日： | 2012-10-15 |
| 公開（公告）號： | CN102854557A | 公開（公告）日： | 2013-01-02 |
| 發(fā)明（設(shè)計）人： | 徐邦聯(lián);黃元申;王忠坦;張大偉;倪爭技;王琦;陶春先;莊松林 | 申請（專利權(quán)）人： | 上海理工大學(xué) |
| 主分類號： | G02B5/26 | 分類號： | G02B5/26 |
| 代理公司： | 上海申匯專利代理有限公司 31001 | 代理人： | 吳寶根 |
| 地址： | 200093 *** | 國省代碼： | 上海;31 |
| 權(quán)利要求書： | 查看更多 | 說明書： | 查看更多 |
| 摘要： | |||
| 搜索關(guān)鍵詞： | 一種 偏振 無關(guān) 窄帶 彩色 濾光 制作方法 | ||
【權(quán)利要求書】：
1.一種偏振無關(guān)窄帶彩色濾光片，其特征在于，從下到上包括基底層、兩層薄膜層和一層光柵層，基底層為玻璃，兩層薄膜層分別為透明導(dǎo)電膜和二氧化鉿膜，最上面的光柵層為交替變化的光刻膠和入射介質(zhì)。
2.根據(jù)權(quán)利要求1所述偏振無關(guān)窄帶彩色濾光片，其特征在于，所述玻璃基底的折射率為1.47，透明導(dǎo)電膜和二氧化鉿膜層作為波導(dǎo)層，其折射率分別為1.85和1.95，光柵層中光刻膠的占空比為0.35，折射率為1.6，入射介質(zhì)為空氣，折射率為1.0。
3.一種偏振無關(guān)窄帶彩色濾光片的制作方法，其特征在于，具體包括如下步驟：
1）利用真空鍍膜機在玻璃基底上蒸鍍一層厚度為65-75nm的透明導(dǎo)電膜層；
2）在透明導(dǎo)電膜層上鍍一層厚度為70-80nm的二氧化鉿膜層；
3）利用旋涂機在二氧化鉿膜層上旋涂厚度為98-106nm的光刻膠，通過顯影曝光技術(shù)可得到光刻膠與入射介質(zhì)交替的光柵結(jié)構(gòu)，完成彩色濾光片的制作。
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