[發明專利]分度誤差估計裝置、分度誤差校準裝置和分度誤差估計方法有效
| 申請號： | 201210387462.4 | 申請日： | 2012-07-23 |
| 公開（公告）號： | CN102954815A | 公開（公告）日： | 2013-03-06 |
| 發明（設計）人： | 奈良正之 | 申請（專利權）人： | 株式會社三豐 |
| 主分類號： | G01D18/00 | 分類號： | G01D18/00 |
| 代理公司： | 北京市柳沈律師事務所 11105 | 代理人： | 郭定輝 |
| 地址： | 日本神*** | 國省代碼： | 日本;JP |
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| 摘要： | |||
| 搜索關鍵詞： | 分度 誤差 估計 裝置 校準 方法 | ||
【權利要求書】：
1.一種用于分度誤差校準裝置的分度誤差估計裝置，所述分度誤差校準裝置具有由旋轉軸支撐的光柵盤和布置在光柵盤上的至少四個檢測器，所述估計裝置包括：
檢測值合成器，被配置以通過將從所述至少四個檢測器的每個獲得的每個檢測值乘以預定系數來計算線性和；以及
傅里葉分量識別器，其使用所述線性和的傅里葉分量并且其被配置以識別所述分度誤差的傅里葉分量。
2.根據權利要求1所述的分度誤差估計裝置，其中定義所述預定系數從而移除包含在所述線性和中的旋轉角和運動誤差。
3.一種分度誤差校準裝置，包括：
光柵盤，由旋轉軸支撐；
至少四個檢測器，布置在所述光柵盤上；和
分度誤差估計器，包括：
檢測值合成器，被配置以通過將從所述至少四個檢測器的每個獲得的每個檢測值乘以預定系數來計算線性和；以及
傅里葉分量識別器，其使用所述線性和的傅里葉分量并且其被配置以識別所述分度誤差的傅里葉分量。
4.根據權利要求3所述的分度誤差校準裝置，其中定義所述預定系數從而移除包含在所述線性和中的旋轉角和運動誤差。
5.一種用于分度誤差校準裝置的分度誤差估計方法，所述分度誤差校準裝置具有由旋轉軸支撐的光柵盤和布置在光柵盤上的至少四個檢測器，所述估計方法包括：
合成檢測值以通過將從所述至少四個檢測器的每個獲得的每個檢測值乘以預定系數來計算線性和；以及
通過使用所述線性和的傅里葉分量識別所述分度誤差的傅里葉分量。
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