[發明專利]掃描探頭顯微鏡的懸臂及其制造方法、以及熱輔助磁頭元件的檢查方法及其裝置

無效

• 申請號: 201210385082.7
• 申請日: 2012-10-12
• 公開（公告）號: CN103050129A
• 公開（公告）日: 2013-04-17
• 發明（設計）人: 張開鋒;廣瀨丈師;渡邊正浩;中込恒夫;本間真司;徳富照明;中田俊彥;立崎武弘
• 申請（專利權）人: 株式會社日立高新技術
• 主分類號: G11B5/31
• 分類號: G11B5/31;G11B5/455;G11B5/48
• 代理公司: 中國國際貿易促進委員會專利商標事務所 11038
• 代理人: 張靖琳

1.一種掃描探頭顯微鏡的懸臂，其特征在于，具有：

由板狀的部件材料形成的桿、和

形成于該桿的前端部分的探針，

在該探針的表面形成有磁性膜，在該磁性體膜的表面形成有貴金屬或者含有貴金屬的合金的微粒子或者薄膜，計測試樣表面的磁場和近場光。

2.根據權利要求1所述的掃描探頭顯微鏡的懸臂，其特征在于，在所述貴金屬或者含有貴金屬的合金的微粒子或者薄膜之上，形成變換入射的光的波長而使之出射的材料的微粒子或者薄膜。

3.根據權利要求1或者2所述的掃描探頭顯微鏡的懸臂，其特征在于，所述貴金屬或者含有貴金屬的合金的微粒子或者薄膜是金、銀、鉑或者含有這些的合金的微粒子或者薄膜。

4.一種掃描探頭顯微鏡的懸臂，其特征在于，具有：

由板狀的部件材料形成的桿、和

形成于該桿的前端部分的探針，

在該探針的表面形成有磁性膜，在該磁性體膜的表面形成有變換入射的光的波長變換而使之出射的材料的微粒子或者薄膜，計測試樣表面的磁場和近場光。

5.根據權利要求1或者4所述的掃描探頭顯微鏡的懸臂，其特征在于，在所述桿中，由不同的材料形成所述板狀的部件材料和所述探針。

6.根據權利要求5所述的掃描探頭顯微鏡的懸臂，其特征在于，所述探針由碳納米管或者碳納米纖維、氧化硅、高密度碳（HDC：DLC）、鎢（W）形成。

7.一種掃描探頭顯微鏡的懸臂的制造方法，其特征在于，

在將探針形成于板狀的部件材料的前端部的桿的所述探針的表面，形成薄膜狀的磁性體膜，

在形成于該探針的表面的磁性體膜的表面形成貴金屬或者含有貴金屬的合金的微粒子或者薄膜，其中

所述掃描探頭顯微鏡通過所述懸臂計測試樣表面的磁場。

8.根據權利要求7所述的掃描探頭顯微鏡的懸臂的制造方法，其特征在于，

在形成于所述磁性體膜的表面的貴金屬或者含有貴金屬的合金的微粒子或者薄膜之上，還形成變換入射的光的波長而使之出射的材料的微粒子或者薄膜。

9.一種掃描探頭顯微鏡的懸臂的制造方法，其特征在于，

在將探針形成于板狀的部件材料的前端部的桿的所述探針的表面形成薄膜狀的磁性體膜，

在形成于該探針的表面的磁性體膜的表面還形成變換入射的光的波長而使之出射的材料的微粒子或者薄膜，其中

所述掃描探頭顯微鏡通過所述懸臂計測試樣表面的磁場。

10.一種檢查熱輔助磁頭元件的檢查裝置，其特征在于，具備以下部分：

載置作為試樣的熱輔助磁頭元件并在平面內能夠移動的工作臺單元；

具備掃描載置于該工作臺單元的試樣的表面的探針，在該探針的表面形成有磁性膜的懸臂；

使該懸臂對于所述試樣的表面在上下方向上振動的振動驅動單元；

通過向由該振動驅動單元振動的所述懸臂的形成所述探針的一側的相反側的面照射光而檢測來自所述懸臂的反射光，從而檢測所述懸臂的振動的變位檢測單元；

輸出用于使交變磁場從所述熱輔助磁頭元件的磁場發生部發生并且使近場光從近場光發光部發生的信號的信號輸出單元；

檢測由于根據從該信號輸出單元輸出的信號從所述熱輔助磁頭元件的所述近場光發光部發生的近場光而從所述懸臂的形成磁性膜的探針的表面發生的散射光的散射光檢測單元；以及

處理由所述變位檢測單元檢測得到的信號和由所述散射光檢測單元檢測所述散射光得到的信號，檢查從所述熱輔助磁頭元件的所述近場光發光部發光的近場光的強度分布、所述近場光發光部的表面形狀、磁場發生部與近場光發光部的位置關系中的至少一個的處理單元。

11.根據權利要求10所述的熱輔助磁頭元件的檢查裝置，其特征在于，所述懸臂的探針，在所述磁性膜的表面形成有貴金屬或者含有貴金屬的合金的微粒子或者薄膜，通過使所述探針接近使所述近場光發生的試樣的表面，利用所述近場光使散射光從所述貴金屬或者含有貴金屬的合金的微粒子或者薄膜發生。