[發明專利]壓印方法、壓印裝置和設備制造方法

有效

• 申請號: 201210385057.9
• 申請日: 2012-10-12
• 公開（公告）號: CN103048878A
• 公開（公告）日: 2013-04-17
• 發明（設計）人: 中川一樹;長谷川敬恭;村上洋介;松本隆宏
• 申請（專利權）人: 佳能株式會社
• 主分類號: G03F7/00
• 分類號: G03F7/00;H01L21/027
• 代理公司: 中國國際貿易促進委員會專利商標事務所 11038
• 代理人: 楊小明

1.一種把在模具上形成的圖案轉印到基板上的樹脂的壓印方法，所述方法包括：

把基板保持在保持面上的保持步驟；

使在基板上形成圖案處的基板側圖案區的形狀變形的變形步驟；

使經變形的所述基板側圖案區上的樹脂與模具接觸的接觸步驟；

固化樹脂的固化步驟；和

使模具脫離與模具接觸的樹脂的脫模步驟，

其中在所述變形步驟中，在沿著基板的表面的方向上對基板施加變形力，所述變形力大于作用于與所述基板側圖案區對應的基板的背面和所述保持面之間的最大靜摩擦力。

2.根據權利要求1所述的壓印方法，其中在變形步驟之前，或者在變形步驟之中，作用于與所述基板側圖案區對應的基板的背面和所述保持面之間的摩擦力被減小。

3.根據權利要求1所述的壓印方法，其中在變形步驟之后，并在脫模步驟之前，作用于與所述基板側圖案區對應的基板的背面和所述保持面之間的摩擦力被增大。

4.根據權利要求1所述的壓印方法，其中在保持步驟中利用吸附來保持基板，在變形步驟之前，或者在變形步驟之中，作用在與所述基板側圖案區對應的基板的背面上的吸附力被減小。

5.根據權利要求1所述的壓印方法，其中在保持步驟中利用吸附來保持基板，在變形步驟之后，并在脫模步驟之前，作用在與所述基板側圖案區對應的基板的背面上的吸附力被增大。

6.根據權利要求1所述的壓印方法，其中在變形步驟中，所述基板側圖案區被加熱。

7.根據權利要求1所述的壓印方法，還包括：

通過檢測在基板上形成的多個標記的位置，獲取關于所述基板側圖案區的形狀的信息的獲取步驟，

其中在變形步驟中，基于在獲取步驟中獲取的信息，使所述基板側圖案區的形狀變形，以便減小所述基板側圖案區的形狀和在模具上形成的圖案的形狀之間的差異。

8.根據權利要求1所述的壓印方法，還包括：

使形成圖案處的模具的圖案的形狀變形的模具變形步驟。

9.根據權利要求8所述的壓印方法，還包括：

通過檢測在基板上形成的多個標記的位置和在模具上形成的多個標記的位置來獲取關于所述基板側圖案區的形狀和在模具上形成的圖案的形狀之間的差異的信息的獲取步驟，

其中在變形步驟和模具變形步驟中，基于在所述獲取步驟中獲取的信息，使所述基板側圖案區的形狀和在模具上形成的圖案的形狀變形，以便減小它們之間的差異。

10.一種把在模具上形成的圖案轉印到基板上的樹脂的壓印設備，所述壓印設備包括：

基板保持單元，在所述基板保持單元上形成有用于保持基板的保持面；

變形機構，所述變形機構使在基板上形成圖案處的基板側圖案區的形狀變形；

摩擦力調整機構，所述摩擦力調整機構調整作用于與所述基板側圖案區對應的基板的背面和所述保持面之間的摩擦力；和

控制單元，所述控制單元控制所述變形機構或所述摩擦力調整機構，以使得沿基板的表面的方向作用于所述基板側圖案區上的變形力大于作用于與所述基板側圖案區對應的基板的背面和所述保持面之間的最大靜摩擦力。

11.根據權利要求10所述的壓印設備，其中所述控制單元控制摩擦力調整機構，以便在所述變形機構使所述基板側圖案區的形狀變形之前，或者在所述變形機構使所述基板側圖案區的形狀變形之時，減小摩擦力。

12.根據權利要求10所述的壓印設備，其中所述基板保持單元利用吸附來保持基板，并通過調整作用在與所述基板側圖案區對應的基板的背面上的吸附力來調整摩擦力。

13.根據權利要求10所述的壓印設備，其中所述變形機構包括加熱所述基板側圖案區的加熱機構。

14.根據權利要求10所述的壓印設備，其中所述基板保持單元包括能夠獨立地改變吸附力的多個吸附單元。

15.一種器件制造方法，包括：

利用壓印設備，把在模具上形成的圖案轉印到基板上的樹脂；和

使轉印的圖案顯影，

其中所述壓印設備包括：

保持機構，所述保持機構把基板保持在保持面上；和

變形機構，所述變形機構使在基板上形成圖案處的基板側圖案區的形狀變形；

摩擦力調整機構，所述摩擦力調整機構被包括在所述保持機構中并且調整作用于與所述基板側圖案區對應的基板的背面和所述保持面之間的摩擦力；和

控制單元，所述控制單元控制所述變形機構或者所述摩擦力調整機構，以使得在沿著基板的表面的方向上作用于所述基板側圖案區上的變形力大于作用于與所述基板側圖案區對應的基板的背面和所述保持面之間的最大靜摩擦力。