[發(fā)明專利]一種新型離子轟擊爐

無效

• 申請?zhí)枺?/td>: 201210382603.3
• 申請日: 2012-10-11
• 公開（公告）號(hào): CN102943233A
• 公開（公告）日: 2013-02-27
• 發(fā)明（設(shè)計(jì)）人: 田紹潔;王美玲;田紹忠
• 申請（專利權(quán)）人: 大連經(jīng)濟(jì)技術(shù)開發(fā)區(qū)圣潔真空技術(shù)開發(fā)有限公司
• 主分類號(hào): C23C8/36
• 分類號(hào): C23C8/36;H01J37/317
• 代理公司: 大連科技專利代理有限責(zé)任公司 21119
• 代理人: 龍鋒

1.一種新型離子轟擊爐，其特征在于，包括爐體（4）、真空系統(tǒng)、供氣系統(tǒng)、供電系統(tǒng)、冷卻系統(tǒng)；所述爐體（4）包括弧形爐蓋（3）、圓形爐筒（5）、爐底（6）、吊掛陰極輸電裝置（l）、堆放陰極輸電裝置（11）和底座（12）；在所述弧形爐蓋（3）上，沿其軸線裝有所述吊掛陰極輸電裝置（1），在所述弧形爐蓋（3）的周圍繞其軸線對稱地還設(shè)計(jì)有多個(gè)吊掛陰極輸電裝置（l），所述吊掛陰極輸電裝置（l）呈等距離分布，組成爐體的圓形爐筒（5）設(shè)計(jì)成多段節(jié)，其側(cè)壁采用多層復(fù)合隔熱層結(jié)構(gòu)，在每節(jié)圓形爐筒（5）的上端面的法蘭（18）上還設(shè)計(jì)有可裝O?型密封圈（26）的燕尾槽（23）和可裝有用壓力彈簧（29）支撐陽極連接柱（30）的陽極柱孔眼（24）；爐底設(shè)計(jì)成弧形結(jié)構(gòu)，在弧形爐底（6）內(nèi)側(cè)的底部，設(shè)計(jì)有三個(gè)互成120?度角并通過陰極架（15）來支撐陰極盤（16）用的陰極座（14）；堆放陰極輸電裝置（11），通過爐底的側(cè)壁而橫置于陰極盤（16）下方，并與其不相接觸，不承受重量，堆放陰極輸電裝置（11）在其金屬內(nèi)屏蔽套（51）和金屬屏蔽套扛（44）之間所形成的氣隙保護(hù)層（46）結(jié)構(gòu)的外部，加有防濺套；吊掛陰極輸電裝置（1），是一個(gè)用金屬連接螺母（45）通過十字陰極桿（4）端部的螺紋，將陰極導(dǎo)套（32）、十字陰極桿（4）、包圍十字陰極桿的絕緣層、防濺套（5），密封墊（38）和氣隙保護(hù)層（46）緊固在一起而形成一個(gè)整體剛性結(jié)構(gòu)；真空接頭、供氣管接頭（1）、冷卻管接頭和熱電偶，均設(shè)計(jì)在弧形爐底（6）的側(cè)面；構(gòu)成陰極輸電裝置氣隙保護(hù)層（46）兩側(cè)的構(gòu)件均是金屬構(gòu)件。

2.根據(jù)權(quán)利要求1?所述的一種新型離子轟擊爐，其特征在于：圓形爐筒（5）其側(cè)壁所采用的多層復(fù)合隔熱層是水冷層(21）與真空層(19），或水冷層與空氣層(20），或水冷層與填料層(25）的雙層復(fù)合隔熱層結(jié)構(gòu)，或者采用水冷層(21）與真空層、空氣層或水冷層與空氣層、填料層，或水冷層與真空層、填料層所組成的三層復(fù)合隔熱層結(jié)構(gòu)。

3.根據(jù)權(quán)利要求1?所述的一種新型離子轟擊爐，其特征在于：吊掛陰極輸電裝置(1）和堆放陰極輸電裝置(11）在伸進(jìn)爐內(nèi)端的端部均裝有導(dǎo)電架(47）?。

4.根據(jù)權(quán)利要求1?和3?所述的一種新型離子轟擊爐，其特征在于：吊掛陰極輸電裝置(1）的氣隙保護(hù)結(jié)構(gòu)，由增加剛性作用的金屬連接螺母(45）與金屬屏蔽套(44）所構(gòu)成，并在其外側(cè)加有防濺套(50）。

5.根據(jù)權(quán)利要求1?所述的一種新型離子轟擊爐，其特征在于；放置在陰極座(14）上面的陰極架(15）裝有支撐螺栓(58），該陰極架(15）是用支撐座(60）與作為陽極的弧形爐底(6）絕緣的防濺構(gòu)件。