[發(fā)明專利]一種將氣體微流量校準下限延伸至10-14Pam3/s的系統及方法

無效

• 申請?zhí)枺?/td>: 201210382529.5
• 申請日: 2012-10-11
• 公開（公告）號: CN102928172A
• 公開（公告）日: 2013-02-13
• 發(fā)明（設計）人: 盧耀文
• 申請（專利權）人: 盧耀文
• 主分類號: G01M3/20
• 分類號: G01M3/20;G01F25/00
• 代理公司: 暫無信息
• 代理人: 暫無信息

1.一種將氣體微流量校準下限延伸至10^-14Pam³/s的系統，其特征在于，該系統包括：第一機械泵(1)、第二機械泵(14)、第一電磁閥(2)、第二電磁閥(13)、第一真空閥門(4)、第二真空閥門(7)、第三真空閥門(11)、第四真空閥門(17)、第五真空閥門(21)、第六真空閥門(24)、第一分子泵(3)、第二分子泵(12)、質譜分析室(5)、小孔(6)、第一消氣劑泵(8)、第二消氣劑泵(23)、穩(wěn)壓室(10)、第一真空規(guī)(9)、第二真空規(guī)(15)、第三真空規(guī)(22)、儲氣瓶(19)、微調閥(20)、四極質譜計(16)和真空漏空(18)；

在該系統中，第一機械泵(1)與第一電磁閥(2)連接，第一分子泵(3)一端與第一電磁閥(2)連接，另一端與第一真空閥門(4)連接；質譜分析室(5)上安裝有第二真空規(guī)(15)、四極質譜計(16)，第二消氣劑泵(23)通過第六真空閥門(24)與質譜分析室(5)連接，質譜分析室(5)的下端抽氣口與第一真空閥門(4)連接，質譜分析室(5)的上端分別與小孔(6)、第四真空閥門(17)連接；第四真空閥門(17)的另一端與真空漏孔(18)連接；第二真空閥門(7)的一端與小孔(6)連接，另一端與微調閥(20)、穩(wěn)壓室(10)及第三真空規(guī)(22)連接，儲氣瓶(19)與微調閥(20)連接；穩(wěn)壓室(10)上有六個接口，分別與第一真空規(guī)(9)、微調閥(20)、第五真空閥門(21)、第三真空規(guī)(22)、第三真空閥門(11)及第二真空閥門(7)連接，第一消氣劑泵(8)與第五真空閥門(21)連接；第二分子泵(12)兩端分別與第三真空閥門(11)、第二電磁閥(13)連接，第二電磁閥(13)的另一端與第二接機械泵(14)連接。

2.如權利要求1所述的一種將氣體微流量校準下限延伸至10^-14Pam³/s的系統，其特征在于，校準范圍為10^-11～10^-14Pam³/s，第一真空規(guī)(9)采用磁懸浮轉子規(guī)(SRG)，小孔(6)的直徑約2u，并且測量前SRG穩(wěn)定3小時以上；所述第一消氣劑泵(8)、第二消氣劑泵(23)對惰性氣體無抽速；儲氣瓶(19)中的氣源是惰性氣體；四極質譜計(16)測量前工作3小時以上。