[發(fā)明專利]微區(qū)變角度光譜測試系統(tǒng)

有效

• 申請?zhí)枺?/td>: 201210381236.5
• 申請日: 2012-10-10
• 公開（公告）號: CN103528684A
• 公開（公告）日: 2014-01-22
• 發(fā)明（設(shè)計）人: 段宣明;李敬;董賢子
• 申請（專利權(quán)）人: 中國科學(xué)院理化技術(shù)研究所
• 主分類號: G01J3/28
• 分類號: G01J3/28
• 代理公司: 北京正理專利代理有限公司 11257
• 代理人: 張雪梅

1.一種微區(qū)光譜測試系統(tǒng)，包括入射光路、樣品臺和接收光路，其特征在于，

所述入射光路包括位于入射光路徑中的光學(xué)元件、入射顯微物鏡，第一光譜測試單元和第一實(shí)時觀察系統(tǒng)；

所述接收光路包括位于出射光路徑中的光學(xué)元件、接收顯微物鏡，第二光譜測試單元和第二實(shí)時觀察系統(tǒng)，

該測試系統(tǒng)進(jìn)一步包括：

樣品臺轉(zhuǎn)動裝置，用于調(diào)節(jié)所述樣品臺繞垂直于樣品臺的轉(zhuǎn)軸轉(zhuǎn)動，和

第一光路轉(zhuǎn)動裝置，用于調(diào)節(jié)所述入射光路或接收光路繞所述轉(zhuǎn)軸旋轉(zhuǎn)。

2.如權(quán)利要求1所述的微區(qū)光譜測試系統(tǒng)，其特征在于，所述測試系統(tǒng)進(jìn)一步包括：

第二光路轉(zhuǎn)動裝置，用于調(diào)節(jié)所述接收光路或所述入射光路繞所述轉(zhuǎn)軸旋轉(zhuǎn)。

3.如權(quán)利要求1所述的微區(qū)光譜測試系統(tǒng)，其特征在于，測試系統(tǒng)進(jìn)一步包括用于精確調(diào)節(jié)樣品臺三維位置的樣品臺三維移動裝置，所述樣品臺轉(zhuǎn)動裝置同時轉(zhuǎn)動三維移動裝置和樣品臺。

4.如權(quán)利要求1所述的微區(qū)光譜測試系統(tǒng)，其特征在于，所述樣品臺轉(zhuǎn)動裝置和所述第一光路轉(zhuǎn)動裝置分別獨(dú)立可調(diào)。

5.如權(quán)利要求2所述的微區(qū)光譜測試系統(tǒng)，其特征在于，所述樣品臺轉(zhuǎn)動裝置、所述第一光路轉(zhuǎn)動裝置和所述第二光路轉(zhuǎn)動裝置分別獨(dú)立可調(diào)。

6.如權(quán)利要求1所述的微區(qū)光譜測試系統(tǒng)，其特征在于，所述入射顯微物鏡和所述接收顯微物鏡分別可被三維移動和俯仰調(diào)節(jié)。

7.如權(quán)利要求1所述的微區(qū)光譜測試系統(tǒng)，其特征在于，所述測試系統(tǒng)進(jìn)一步包括分別位于所述入射光路和接收光路中光束聚焦位置處的可調(diào)光闌。

8.如權(quán)利要求1所述的微區(qū)光譜測試系統(tǒng)，其特征在于，所述第一光譜測試單元和第二光譜測試單元的測試波長包括可見光和近紅外光。

9.如權(quán)利要求1所述的微區(qū)光譜測試系統(tǒng)，其特征在于，所述第一實(shí)時觀察系統(tǒng)和第二實(shí)時觀察系統(tǒng)分別包括照明光源、成像CCD、監(jiān)視器和光路元件。

10.如權(quán)利要求9所述的微區(qū)光譜測試系統(tǒng)，其特征在于，所述第一實(shí)時觀察系統(tǒng)和第二實(shí)時觀察系統(tǒng)進(jìn)一步分別包括位于成像CCD前方的透反鏡，用于將來自顯微物鏡的光分開，一路進(jìn)入成像CCD，另一路進(jìn)入光譜測試單元。