[發明專利]石英玻璃真空脫羥用抽真空裝置及方法及石英玻璃真空脫羥爐

無效

• 申請號: 201210380932.4
• 申請日: 2012-10-10
• 公開（公告）號: CN102992596A
• 公開（公告）日: 2013-03-27
• 發明（設計）人: 陳士斌;周明強;徐同根;寧井班
• 申請（專利權）人: 江蘇太平洋石英股份有限公司
• 主分類號: C03B20/00
• 分類號: C03B20/00
• 代理公司: 江蘇銀創律師事務所 32242
• 代理人: 何震花

1.一種新型石英玻璃真空脫羥用抽真空裝置，其特征在于：包括直聯旋片泵和與直聯旋片泵相連并且在低于200Pa的壓強下能夠啟動的分子增壓泵；當直聯旋片泵首先啟動并且將爐體內的壓強抽至200Pa以下時，分子增壓泵開始啟動并將爐體內壓強抽至10^-3Pa以下。

2.根據權利要求1所述的石英玻璃真空脫羥用抽真空裝置，其特征在于：當直聯旋片泵首先啟動并且將爐體內的壓強抽至200Pa以下時，分子增壓泵開始啟動并將爐體內壓強抽至10^-3Pa-10^-4Pa。

3.根據權利要求2所述的石英玻璃真空脫羥用抽真空裝置，其特征在于：還包括連接在分子增壓泵和直聯旋片泵之間的電磁壓差閥。

4.根據權利要求1或2或3所述的石英玻璃真空脫羥用抽真空裝置，其特征在于：還包括一端與分子增壓泵相連接的高真空閥，高真空閥的另一端用于連接爐體。

5.一種石英玻璃真空脫羥爐，包括爐體和與爐體相連接的權利要求1至4中任一項所述的石英玻璃真空脫羥用抽真空裝置。

6.一種石英玻璃真空脫羥爐用抽真空方法，包括以下步驟：

首先，開啟直聯旋片泵，將爐體內的壓強抽至200Pa以下；

然后，開啟分子增壓泵，將爐體內壓強抽至10^-3Pa以下。

7.根據權利要求6所述的石英玻璃真空脫羥爐用抽真空方法，其特征在于：開啟分子增壓泵，將爐體內壓強抽至110^-3Pa-10^-4Pa。

8.根據權利要求6或7所述的石英玻璃真空脫羥爐用抽真空方法，其特征在于：在開啟直聯旋片泵之前，還包括開啟連接在分子增壓泵和直聯旋片泵之間的電磁壓差閥和連接在爐體和分子增壓泵之間的高真空閥的步驟。