[發(fā)明專利]一種提高半導(dǎo)體激光器壽命方法無效
| 申請?zhí)枺?/td> | 201210380873.0 | 申請日： | 2012-10-10 |
| 公開（公告）號： | CN102882120A | 公開（公告）日： | 2013-01-16 |
| 發(fā)明（設(shè)計）人： | 李再金;李特;蘆鵬;王勇;喬忠良;李輝;曲軼;李林;鄒永剛;魏志鵬;劉國軍;薄報學(xué);馬曉輝 | 申請（專利權(quán)）人： | 長春理工大學(xué) |
| 主分類號： | H01S5/00 | 分類號： | H01S5/00;H01S5/028 |
| 代理公司： | 暫無信息 | 代理人： | 暫無信息 |
| 地址： | 130022 吉林*** | 國省代碼： | 吉林;22 |
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| 摘要： | |||
| 搜索關(guān)鍵詞： | 一種 提高 半導(dǎo)體激光器 壽命 方法 | ||
1.一種提高半導(dǎo)體激光器壽命方法，其特征在于包括：半導(dǎo)體激光器bar條1，經(jīng)等離子體技術(shù)處理的半導(dǎo)體激光器bar條2，鈍化膜3，前腔面膜4，后腔面膜5，具體步驟如下：
步驟1：將解理好的半導(dǎo)體激光器bar條整齊的堆疊在專用的bar條夾具上，放入真空鍍膜機(jī)里，抽取真空。當(dāng)達(dá)到預(yù)定真空度時，采用等離子體技術(shù)，進(jìn)行腔面清洗。
步驟2：采用鈍化技術(shù)，在解理腔面上沉積一層鈍化膜3。
步驟3：采用離子輔助技術(shù)和光學(xué)膜技術(shù)，制備高激光損傷閾值前腔面膜4和后腔面膜5。
2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的一種提高半導(dǎo)體激光器壽命方法，其特征在于步驟1中所述的等離子體技術(shù)，進(jìn)行腔面清洗，除去腔面的氧化膜和腔面不穩(wěn)定表面態(tài)。
3.根據(jù)權(quán)利要求1所述的一種提高半導(dǎo)體激光器壽命方法，其特征在于步驟2中所述的鈍化技術(shù)，使鈍化膜3占據(jù)腔面易氧化狀態(tài)，消除欲氧化狀態(tài)，抑制腔面再次被氧化，防止形成腔面缺陷。
該專利技術(shù)資料僅供研究查看技術(shù)是否侵權(quán)等信息，商用須獲得專利權(quán)人授權(quán)。該專利全部權(quán)利屬于長春理工大學(xué)，未經(jīng)長春理工大學(xué)許可，擅自商用是侵權(quán)行為。如果您想購買此專利、獲得商業(yè)授權(quán)和技術(shù)合作，請聯(lián)系【客服】
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