[發明專利]光掃描裝置及光掃描控制裝置

無效

• 申請號: 201210380505.6
• 申請日: 2012-09-29
• 公開（公告）號: CN103033928A
• 公開（公告）日: 2013-04-10
• 發明（設計）人: 田中豐樹;高橋宗明;關根久通;阿賀壽典;日比谷利一郎
• 申請（專利權）人: 三美電機株式會社
• 主分類號: G02B26/08
• 分類號: G02B26/08;G02B26/10
• 代理公司: 北京銀龍知識產權代理有限公司 11243
• 代理人: 張敬強;嚴星鐵

1.一種光掃描裝置，其利用扭轉梁從軸向兩側支撐對反射鏡進行支撐的反射鏡支撐部，通過上述扭轉梁的扭轉，使上述反射鏡支撐部在繞軸方向上擺動，該光掃描裝置的特征在于，具有：

以夾著上述反射鏡及上述反射鏡支撐部的方式成對設置的第一驅動梁；

將上述第一驅動梁的一側與上述扭轉梁連結的連結梁；以及

第一壓電傳感器，其形成在上述連結梁上，當在上述第一驅動梁上施加驅動電壓而使上述反射鏡擺動時，檢測由上述扭轉梁的繞軸的擺動引起的上述連結梁的位移，

上述第一壓電傳感器將上部電極配線向夾著上述反射鏡及上述反射鏡支撐部的一方的上述第一驅動梁引出，將下部電極配線向夾著上述反射鏡及上述反射鏡支撐部的另一方的上述第一驅動梁引出。

2.根據權利要求1所述的光掃描裝置，其特征在于，

具有：包圍上述反射鏡及上述反射鏡支撐部、上述扭轉梁、上述第一驅動梁、以及上述連結梁的可動框；

第二驅動梁，其以夾著上述可動框的方式成對，一端連結在上述可動框上，使上述反射鏡及上述反射鏡支撐部在與上述繞軸正交的方向上擺動；以及

第二壓電傳感器，其形成在上述第二驅動梁上，當在上述第二驅動梁上施加驅動電壓而使上述反射鏡擺動時，檢測上述第二驅動梁的位移。

3.根據權利要求1或2所述的光掃描裝置，其特征在于，

上述上部電極配線以與向上述一方的上述第一驅動梁具有的驅動源供給驅動電壓的一方的驅動配線并行的方式形成，

上述下部電極配線以與向上述另一方的上述第一驅動梁具有的驅動源供給驅動電壓的另一方的驅動配線并行的方式形成，

上述上部電極配線和上述一方的驅動配線并行的長度與上述下部電極配線和上述另一方的驅動配線并行的長度相等。

4.根據權利要求3所述的光掃描裝置，其特征在于，

在上述上部電極配線與上述一方的驅動配線之間、以及上述下部電極配線與上述另一方的驅動配線之間形成有與地線連接的保護圖案。

5.根據權利要求4所述的光掃描裝置，其特征在于，

上述保護圖案從上述上部電極配線與上述一方的驅動配線開始并行的位置、以及上述下部電極配線與上述另一方的驅動配線開始并行的位置形成。

6.根據權利要求4所述的光掃描裝置，其特征在于，

上述保護圖案從下述位置的附近形成：

上述下部電極配線與設在一方的上述第二驅動梁上的一方的上述第二壓電傳感器的上部電極配線及下部電極配線開始并行的位置；以及

上述上部電極配線與設在另一方的上述第二驅動梁上的另一方的上述第二壓電傳感器的上部電極配線及下部電極配線開始并行的位置。

7.一種光掃描控制裝置，其具備權利要求1～6任一項所述的光掃描裝置，該光掃描控制裝置的特征在于，

具有干擾去除部，其根據施加在夾著上述反射鏡及上述反射鏡支撐部的一方的上述第一驅動梁上的第一驅動電壓與施加在夾著上述反射鏡及上述反射鏡支撐部的另一方的上述第一驅動梁上的第二驅動電壓，產生第一規定成分信號及第二規定成分信號，

該干擾去除部根據上述第一規定成分信號與上述第二規定成分信號去除從上述第一壓電傳感器輸出的輸出信號的干擾成分。

8.根據權利要求7所述的光掃描控制裝置，其特征在于，

上述干擾去除部具有與上述第一驅動電壓及上述第二驅動電壓的各個對應的第一及第二增益、相位調整部，

上述第一規定成分信號通過利用上述第一增益、相位調整部使上述第一驅動電壓的振幅與相位成為規定的值的調整而產生，

上述第二規定成分信號通過利用上述第二增益、相位調整部使上述第二驅動電壓的振幅與相位成為規定的值的調整而產生。