[發明專利]光學式加速度計

有效

• 申請號: 201210378894.9
• 申請日: 2012-10-09
• 公開（公告）號: CN103713156A
• 公開（公告）日: 2014-04-09
• 發明（設計）人: 王維中;陳暉暄
• 申請（專利權）人: 原相科技股份有限公司
• 主分類號: G01P15/03
• 分類號: G01P15/03;G01P15/18
• 代理公司: 北京潤平知識產權代理有限公司 11283
• 代理人: 陳瀟瀟;南毅寧

1.一種光學式加速度計，該光學式加速度計包含：

第一襯底，該第一襯底包含：

框體；

可移動件，該可移動件沿至少一方向形成有間隔的開口以作為衍射光柵；及

至少一彈性元件，連接于所述框體與所述可移動件之間；

第二襯底，包含至少一感測單元以用以感測所述衍射光柵形成的零階衍射圖案及第一階衍射圖案；

間隙層，設置于所述第一襯底與所述第二襯底之間，用以界定一預設高度；以及

處理單元，耦接所述感測單元，該處理單元用以根據所述零階衍射圖案及所述第一階衍射圖案計算三維加速度。

2.根據權利要求1所述的光學式加速度計，其中所述間隙層一體成型于所述第一襯底或所述第二襯底。

3.根據權利要求1或2所述的光學式加速度計，其中所述處理單元根據所述零階衍射圖案的位置變化對共平面加速度進行計算。

4.根據權利要求1或2所述的光學式加速度計，其中所述處理單元根據所述零階衍射圖案與所述第一階衍射圖案的相對關系對出平面加速度進行計算。

5.根據權利要求1或2所述的光學式加速度計，其中在所述可移動件上沿第一方向形成有第一間隔的開口且沿第二方向形成有第二間隔的開口。

6.根據權利要求5所述的光學式加速度計，其中所述第二襯底包含對應所述第一間隔的開口的第一感測單元及對應所述第二間隔的開口的第二感測單元。

7.根據權利要求6所述的光學式加速度計，其中所述處理單元根據所述第一感測單元感測的所述零階衍射圖案計算第一共平面加速度并根據所述第二感測單元感測的所述零階衍射圖案計算第二共平面加速度。

8.根據權利要求1或2所述的光學式加速度計，其中所述衍射光柵為穿透式衍射光柵或反射式衍射光柵。

9.根據權利要求8所述的光學式加速度計，該光學式加速度計還包含發光照射所述衍射光柵以形成所述零階衍射圖案及所述第一階衍射圖案的同調光源。

10.一種光學式加速度計，該光學式加速度計包含：

感測襯底，包含至少一感測單元；

光柵襯底，該光柵襯底相對所述感測襯底并包含可移動件，所述可移動件上形成有至少一衍射光柵，加速時所述可移動件相對所述感測襯底進行相對運動；

同調光源，發光照射所述至少一衍射光柵以在所述至少一感測單元上形成衍射圖案；以及

處理單元，耦接所述至少一感測單元以根據所述衍射圖案計算三維加速度。

11.根據權利要求10所述的光學式加速度計，其中所述衍射圖案包含零階衍射圖案及第一階衍射圖案。

12.根據權利要求11所述的光學式加速度計，其中所述處理單元根據所述零階衍射圖案與所述第一階衍射圖案的相對關系對出平面加速度進行計算。

13.根據權利要求11所述的光學式加速度計，其中所述處理單元根據所述零階衍射圖案的位置變化對共平面加速度進行計算。

14.根據權利要求10所述的光學式加速度計，其中所述至少一衍射光柵為穿透式衍射光柵或反射式衍射光柵。

15.根據權利要求10所述的光學式加速度計，其中所述至少一衍射光柵為間隔的開口或平行條狀部。

16.根據權利要求15所述的光學式加速度計，其中所述至少一衍射光柵包含形成于第一方向的第一衍射光柵及形成于第二方向的第二衍射光柵。

17.根據權利要求16所述的光學式加速度計，其中所述感測襯底包含對應所述第一衍射光柵的第一感測單元及對應所述第二衍射光柵的第二感測單元。

18.根據權利要求17所述的光學式加速度計，其中所述處理單元根據所述第一感測單元感測的所述衍射圖案計算第一共平面加速度并根據所述第二感測單元感測的所述衍射圖案計算第二共平面加速度。

19.根據權利要求10所述的光學式加速度計，其中所述感測襯底包含位于所述感測襯底的邊緣并朝向所述光柵襯底垂直延伸出一預設高度的側壁。

20.根據權利要求10所述的光學式加速度計，其中所述光柵襯底包含位于所述光柵襯底的邊緣并朝向所述感測襯底垂直延伸出一預設高度的側壁。