[發明專利]真空吸取設備

無效

• 申請號: 201210377735.7
• 申請日: 2012-09-28
• 公開（公告）號: CN103029985A
• 公開（公告）日: 2013-04-10
• 發明（設計）人: 深野喜弘;櫻井修三;染谷雅彥
• 申請（專利權）人: SMC株式會社
• 主分類號: B65G47/91
• 分類號: B65G47/91;H01L21/683
• 代理公司: 上海市華誠律師事務所 31210
• 代理人: 梅高強;崔巍

1.一種用于在負壓流體的吸取作用下吸引工件的真空吸取設備，其特征在于，所述真空吸取設備包含：

本體（12），所述本體（12）具有端口，并且所述負壓流體被供應到所述端口（22）；

吸取部（14），所述吸取部（14）布置在所述本體（12）的下部，并且所述吸取部（14）配備有能夠以匹配所述工件的表面的形狀的方式變形的柔性吸取表面（42a）；和

密封體（48），所述密封體（48）布置在所述吸取部（14）的周側邊緣，用于維持所述吸取部（14）和所述本體（12）之間的氣密性；

其中，所述吸取表面（42a）由當所述工件被吸引到所述吸取表面（42a）上時不會相對于所述工件傳送化學物質的材料制成。

2.如權利要求1所述的真空吸取設備，其特征在于，所述吸取部（14）包含：

基體（38），所述基體（38）布置在所述本體（12）中的所述端口（22）一側上，并且能夠允許所述負壓流體通過所述基體（38）起作用，以在所述工件一側上產生負壓；

柔性吸取片狀物（46），所述吸取片狀物（46）布置于在吸取作用下吸引所述工件的所述本體（12）的下部；和

柔性中間體（40），所述柔性中間體（40）布置在所述吸取片狀物（46）和所述基體（38）之間，并且所述負壓流體能夠經過所述柔性中間體（40），并且所述柔性中間體（40）能夠與所述吸取片狀物（46）一起變形；

其中，所述基體（38）、所述中間體（40）和所述吸取片狀物（46）沿著厚度方向堆疊，所述基體（38）、所述中間體（40）和所述吸取片狀物（46）的剛度被設定成以此順序依次逐漸降低，并且它們的柔性被設定成以此順序依次逐漸增大。

3.如權利要求2所述的真空吸取設備，其特征在于，所述密封體包含密封構件（48），所述密封構件（48）由不可滲透的彈性材料制成。

4.如權利要求2所述的真空吸取設備，其特征在于，相對于所述本體（12）保持所述吸取片狀物（46）的保持構件（16）被可拆卸地螺紋接合在所述本體（12）的外周部分上。

5.如權利要求2所述的真空吸取設備，其特征在于，構成所述吸取片狀物（46）的材料為熱塑性樹脂。

6.如權利要求2所述的真空吸取設備，其特征在于，所述基體（38）由燒結的多孔體形成，所述多孔體具有穿透所述基體（38）內部的多個通孔（44）。

7.如權利要求4所述的真空吸取設備，其特征在于，所述保持構件（16）包括形成為環形形狀并且在徑向向內方向上突出的按壓構件（52），所述按壓構件（52）保持所述吸取片狀物（46）的下表面。