[發(fā)明專利]液晶顯示裝置及其制造方法

有效

• 申請(qǐng)?zhí)枺?/td>: 201210377390.5
• 申請(qǐng)日: 2012-09-27
• 公開（公告）號(hào): CN103034002A
• 公開（公告）日: 2013-04-10
• 發(fā)明（設(shè)計(jì)）人: 栗田誠(chéng)
• 申請(qǐng)（專利權(quán)）人: 株式會(huì)社日本顯示器東
• 主分類號(hào): G02F1/1362
• 分類號(hào): G02F1/1362;G02F1/1368;G02F1/1333
• 代理公司: 北京市金杜律師事務(wù)所 11256
• 代理人: 楊宏軍

技術(shù)領(lǐng)域

本發(fā)明涉及顯示裝置，尤其涉及提供能夠防止影像信號(hào)線斷線的結(jié)構(gòu)的液晶顯示裝置。

背景技術(shù)

在液晶顯示裝置上設(shè)置有：像素電極及薄膜晶體管(TFT)等呈矩陣狀地形成的TFT基板；以及與TFT基板相對(duì)、且在與TFT基板的像素電極相對(duì)應(yīng)的位置形成有濾色器等的對(duì)置基板，在TFT基板和對(duì)置基板之間夾持有液晶。而且通過按像素控制基于液晶分子的透光率而形成圖像。

由于液晶顯示裝置是平板型且輕量，因此在從TV等大型顯示裝置到手機(jī)或DSC(Digital?Still?Camera，數(shù)字照相機(jī))等各種領(lǐng)域廣泛地應(yīng)用。此外，液晶顯示裝置存在根據(jù)觀察畫面的角度的不同，圖像也不同這一視場(chǎng)角的問題，但關(guān)于該視場(chǎng)角，IPS(In?Plane?Switching，平面轉(zhuǎn)換)方式的液晶顯示裝置具有優(yōu)異的特性。

在液晶顯示裝置中，影像信號(hào)線在第一方向延伸、在第二方向排列，掃描線在第二方向延伸、在第一方向排列。為了抑制線寬并減小電阻，影像信號(hào)線使用Al合金。Al合金在光刻工序中的蝕刻或顯影工序中易產(chǎn)生缺陷。

IPS方式的液晶顯示裝置也有很多，其中有以下方式：在同一層(例如柵極絕緣膜)上形成影像信號(hào)線或漏電極和由ITO(Indium?Tin?Oxide，氧化銦錫)形成的像素電極，在其之上形成層間絕緣膜，在層間絕緣膜之上形成梳齒狀的對(duì)置電極。在該情況下，存在影像信號(hào)線或漏電極由于ITO的顯影液而溶解，產(chǎn)生缺陷或斷線的問題。

在“專利文獻(xiàn)1”中記載有為了防止上述問題而先形成基于ITO的像素電極，之后再形成TFT的漏電極或影像信號(hào)線的結(jié)構(gòu)。此外，在“專利文獻(xiàn)2”中記載有為了相同的目的，通過使構(gòu)成像素電極的ITO成為兩層結(jié)構(gòu)而使漏電極或影像信號(hào)線不被ITO的顯影液侵蝕的結(jié)構(gòu)。

專利文獻(xiàn)1：日本特愿2010-217062號(hào)

專利文獻(xiàn)1：日本特開2011-145530號(hào)公報(bào)

發(fā)明內(nèi)容

在液晶顯示裝置中，對(duì)應(yīng)各像素地形成有TFT。圖13是表示影像信號(hào)線107沿縱向延伸、沿橫向排列，掃描線105沿橫向延伸、沿縱向排列，在由影像信號(hào)線107和掃描線105所包圍的區(qū)域形成有像素的結(jié)構(gòu)的俯視圖。在圖13中，省略了像素電極。向各像素的影像信號(hào)從影像信號(hào)線107經(jīng)由第一通孔115，通過三個(gè)TFT，再經(jīng)由第二通孔116提供給未圖示的像素電極。

在圖13中，掃描線105兼作TFT的柵電極105。半導(dǎo)體層103從與影像信號(hào)線107連接的第一通孔115彎曲，三次通過掃描線105(柵電極)的下方，由此形成三個(gè)頂柵式(top?gate)的TFT。

影像信號(hào)線107相對(duì)于TFT成為漏電極107，與影像信號(hào)線107在同層形成的金屬層成為源電極107。影像信號(hào)線、漏電極及源電極是由同一材料同時(shí)形成的，因此標(biāo)注同一符號(hào)107。關(guān)于影像信號(hào)線107，為了減小其電阻而由Al或Al合金形成。這里使用AlSi，Si的含量為1％左右。Al易在半導(dǎo)體層103擴(kuò)散，且易產(chǎn)生小丘(hillock)。

為了防止Al在半導(dǎo)體層103擴(kuò)散，在AlSi層的下層形成基于MoW等的基層1071，在AlSi層1072的上層形成基于MoW等的覆蓋層1073。在具有如上結(jié)構(gòu)的影像信號(hào)線107中，在光刻中的蝕刻程序中，有可能產(chǎn)生如圖13所示的影像信號(hào)線的斷線。

圖14是圖13的影像信號(hào)線107的斷線部分的剖視圖。在圖14中，在TFT基板100之上形成有第一基底膜101、第二基底膜102、柵極絕緣膜104、及層間絕緣膜106，在層間絕緣膜106之上形成有影像信號(hào)線107，但在影像信號(hào)線107上發(fā)生斷線70。在影像信號(hào)線107之上形成有無機(jī)鈍化膜108，在無機(jī)鈍化膜108之上形成有有機(jī)鈍化膜109，在有機(jī)鈍化膜109之上形成有上部絕緣膜111，在上部絕緣膜111之上形成有取向膜113。在圖14中，無機(jī)鈍化膜108以不規(guī)則的形狀堆積在影像信號(hào)線107斷線的部分。

如果不能修復(fù)如上所述的影像信號(hào)線107的斷線，則該液晶顯示裝置為不良品。本發(fā)明的課題是防止圖13或圖14所示的三層結(jié)構(gòu)的影像信號(hào)線107中的斷線。