[發明專利]搬運機器人

有效

• 申請號: 201210377031.X
• 申請日: 2012-10-08
• 公開（公告）號: CN103170970A
• 公開（公告）日: 2013-06-26
• 發明（設計）人: 古川伸征;大仁健輔
• 申請（專利權）人: 株式會社安川電機
• 主分類號: B25J9/08
• 分類號: B25J9/08;B65G49/06
• 代理公司: 北京三友知識產權代理有限公司 11127
• 代理人: 黨曉林;王小東

技術領域

本文所公開的實施方式涉及搬運機器人。

背景技術

傳統上，存在可利用的搬運機器人，該搬運機器人通過利用臂單元在真空室內搬運未處理的基板或處理后的基板，以用于執行成膜處理等。

在搬運機器人用來搬運例如經受成膜處理的基板的情況下，存在搬運機器人可能會由熱基板加熱的可能性。

關于這一點，已經提出這樣的構造，在該構造中，在存儲用于驅動臂單元的驅動動力源的存儲室內設置有用于冷卻該驅動動力源的局部冷卻機構（例如，參見日本特開2008-6535號公報）。

通過上述構造，在局部冷卻機構和驅動動力源之間交換熱量。這使得有可能冷卻驅動動力源。

然而，如果臂被來自熱基板的輻射熱量在外部加熱或者如果熱量從基板被傳遞到手和臂，則由構成被存儲在臂內的驅動系統的馬達或減速器產生的熱量被捕獲在捕集器中。這可能不利地影響驅動系統本身。

因此期望總體上完全冷卻第一臂，而不是如日本特開2008-6535號公報所公開的那樣局部和直接冷卻驅動動力源。

發明內容

本文所公開的實施方式提供一種能夠抑制從基板發出的輻射熱量或借助通過手傳導而被傳遞的熱量積聚在臂中的搬運機器人。

根據本公開內容的一方面，提供一種搬運機器人，其包括：第一臂，所述第一臂具有以可旋轉的方式連接到臂基部的基端部，所述第一臂包括設置在其中的指定驅動系統；第二臂，該第二臂具有以可旋轉的方式連接到所述第一臂的末端部上的基端部；以及手，所述手具有以可旋轉的方式連接到所述第二臂的末端部上的手基部，所述手用來保持基板，其中，所述第一臂包括臂殼體，所述臂殼體設置有多個噴氣孔以及至少一個噴氣孔，所述第一臂構造成使得通過所述噴氣孔噴射的壓縮空氣沿著所述臂殼體的內壁表面流動并且通過所述排氣孔流出。

根據本實施方式的一個方面，可以抑制從基板發出的熱量積聚在臂中。

附圖說明

圖1是示出根據實施方式的搬運機器人的示意性說明側剖面圖；

圖2是該搬運機器人的說明平面圖；

圖3是示出該搬運機器人的第一臂的內部結構的示意性說明平面圖；

圖4是示出該搬運機器人的第一臂的內部結構的示意性說明豎直剖面圖。

具體實施方式

在下文中，將參照形成本發明一部分的附圖詳細地描述本文所公開的搬運機器人的實施方式。然而，本公開內容不限于下述實施方式。

首先，將參照圖1和圖2描述根據本實施方式的搬運機器人的示意性構造。圖1是示出根據本實施方式的搬運機器人的示意性說明側剖面圖。圖2是該搬運機器人的說明平面圖。

如圖1所示，根據本實施方式的搬運機器人1是水平多關節型機器人，該機器人包括：臂單元20，該臂單元具有能夠沿水平方向延伸和縮回的兩個可延伸臂；和用于支撐該臂單元20的本體單元10。搬運機器人1安裝在真空室30中。真空室30由真空泵等保持處于減壓狀態。

本體單元10是設置在臂單元20下面的單元并且構成機器人本體。本體單元10包括殼體11和被容納在殼體11中的升降裝置（未示出）。本體單元10能夠通過使用升降裝置來沿豎直方向上下移動臂單元20。本體單元10的殼體11從真空室30向下突出并且位于限定在支撐真空室30的支撐單元35內的空間中。

設置在本體單元10的殼體11內的升降裝置構造成包括例如馬達、滾珠絲杠和滾珠螺母。升降裝置通過將馬達的旋轉運動轉變成直線運動來上下移動臂單元20。

在殼體11的上部中形成凸緣12。搬運機器人1通過將凸緣12固定到真空室30而被安裝在真空室30中。凸緣12借助密封構件固定到在真空室30的底部中形成的開口31的邊緣部。

臂單元20是與作為機器人本體的本體單元10連接的單元。臂單元20包括臂基部21、第一臂22、第二臂23和手基部24。作為能夠保持諸如玻璃基板或半導體晶片之類的基板3（在下文中有時稱為“工件”）的末端執行器的叉狀手24a被安裝到手基部24。

在下列描述中，圖2中手24a的前進-后退方向將稱為“X-軸方向”。水平地正交于X-軸方向的方向將被稱為“Y-軸方向”。與X-軸方向和Y-軸方向正交的方向（即，豎直方向）將稱為“Z-軸方向”。