[發明專利]緊湊型的檢測臺以及應用該檢測臺的檢測方法

有效

• 申請號: 201210376564.6
• 申請日: 2012-09-29
• 公開（公告）號: CN102879405A
• 公開（公告）日: 2013-01-16
• 發明（設計）人: 裴世鈾;李波;溫曄;楊鐵成;張梁;孫繼忠
• 申請（專利權）人: 肇慶中導光電設備有限公司
• 主分類號: G01N21/89
• 分類號: G01N21/89
• 代理公司: 北京林達劉知識產權代理事務所(普通合伙) 11277
• 代理人: 林火城

技術領域

本發明涉及自動化光學檢測設備領域，尤其涉及一種檢測臺以及應用該檢測臺的檢測方法。

背景技術

通常，平板玻璃、觸摸屏、導光板或液晶面板等器件在制造中需要經過表面結構質量檢測，通過光學檢測判定元器件表面結構是否存有缺陷。在光學檢測過程中，一般先通過第一光學檢測儀對元件表面快速地進行初檢，以判斷是否存在缺陷，初檢后再通過第二光學檢測儀對初檢后的元件表面慢速地進行復檢，以檢查出具體的缺陷，如線路的短路、斷路、錯位等缺陷。

現有的檢測臺如圖5所示，檢測臺包括運載平臺11、支架12，設置在支架12一側的第一光學檢測儀13，設置在支架12另一側的第二光學檢測儀14。檢測一待測物件如平板顯示器15時，平板顯示器15先放置在設有第一光學檢測儀13一側的運載平臺11上，然后平板顯示器15在推動或帶動作用下，在運載平臺11上朝具有第二光學檢測儀14的另一側運動，即第一方向運動，同時第一光學檢測儀13在垂直第一方向的第二方向運動，如此第一光學檢測儀13實現對平板顯示器15表面的初檢，初檢后的平板顯示器15表面進入到有第二光學檢測儀14的另一側，第二光學檢測儀14在第二方向運動，實現對平板顯示器15表面的復檢。

然在隨著待測物件如平板顯示器尺寸的增大，如物件的長度為L，第一光學檢測儀和第二光學檢測儀在第一方向上的距離為D，應用這樣的布局方式，運載平臺的長度至少應為2L+D的尺寸長度，如此，運載平臺的尺寸會很大，從而會加大自動化光學檢測設備的成本。

發明內容

鑒于以上所述，本發明有必要提供一種可減小運載平臺尺寸、降低成本的檢測臺。

另外，有必要提供一種應用該檢測臺的檢測方法。

一種檢測臺，用于檢測待測物件，包括運載平臺、至少一支架，所述每一支架上設有第一光學檢測儀和/或第二光學檢測儀，所述運載平臺用以放置在第一方向運動的待測物件，所述支架設在運載平臺上，至少一支架上的一側或兩側設置有所述第一光學檢測儀，至少一支架上的一側或兩側設置有所述第二光學檢測儀，所述第一光學檢測儀以及第二光學檢測儀在檢測待測物件時沿第二方向運動，所述第一方向與第二方向形成預定角度，所述第一光學檢測儀和/或第二光學檢測儀對待測物體分段檢測。

其中，所述第一光學檢測儀為低倍顯微鏡，用以快速掃描待測物件以檢測待測物件的缺陷位置，所述第二光學檢測為高倍顯微鏡，以對所述缺陷位置高倍顯示。

其中，所述第一光學檢測儀或第二光學檢測儀的數量至少為二，所述第一光學檢測儀或第二光學檢測儀將待測物體分成若干段，所述待測物體為第一光學檢測儀或第二光學檢測儀分段同時測量。

其中，第一光學檢測儀或第二光學檢測儀排列成兩排，所述第一光學檢測儀或第二光學檢測儀將檢測臺分成第一段及第二段。

其中，所述第一段、第二段、所述兩排第一光學檢測儀之間或者所述兩排第二光學檢測儀之間在第一方向上的距離均為待測物件長度的一半。

其中，所述待測物件的長度為L，第一段的長度L1在L/2到L之間，第二段的的長度L2在L/2到L之間，所述兩排第一光學檢測儀之間或者所述兩排第二光學檢測儀之間在第一方向上的距離D小于L。

其中，所述待測物件的長度為L，所述第一段的長度為L，所述第二段的長度為L/2，所述兩排第一光學檢測儀之間或者所述兩排第二光學檢測儀之間在第一方向上的距離為L/2。

一種檢測臺，用于檢測待測物件，包括運載平臺、支架、第一光學檢測儀、以及第二光學檢測儀，所述運載平臺用以放置在第一方向運動的待測物件，所述第一光學檢測儀和/或第二光學檢測儀分別列成兩排并設于所述支架上，所述兩排第一光學檢測儀和/或第二光學檢測儀將運載平臺分成第一段、第二段及第三段，所述第一光學檢測儀以及第二光學檢測儀在檢測待測物件時沿第二方向運動，所述第一方向與第二方向形成預定角度，并且所述第一段的長度為L1，第二段的長度為D，第三段的長度為L2，所述待測物的長度為L，使得所述L<＝L1+L2<2L，0<D<L。

一種使用上述檢測臺的檢測方法，包括以下步驟：

將待測物件置入運載平臺的一端；

使待測物件在第一方向運動，同時啟動第一光學檢測儀，第一光學檢測儀在垂直第一方向的第二方向運動，與待測物件在第一方向運動從而實現對待測物件表面的初檢；