[發(fā)明專(zhuān)利]柔性基材表面處理裝置和處理方法

有效

• 申請(qǐng)?zhí)枺?/td>: 201210375805.5
• 申請(qǐng)日: 2012-09-29
• 公開(kāi)（公告）號(hào): CN102909871A
• 公開(kāi)（公告）日: 2013-02-06
• 發(fā)明（設(shè)計(jì)）人: 李章國(guó);夏國(guó)濤;柳錫運(yùn);鐘欣;江成軍;余俊佼;胡健;杜圣峰
• 申請(qǐng)（專(zhuān)利權(quán)）人: 深圳南玻顯示器件科技有限公司
• 主分類(lèi)號(hào): B29C71/04
• 分類(lèi)號(hào): B29C71/04
• 代理公司: 廣州華進(jìn)聯(lián)合專(zhuān)利商標(biāo)代理有限公司 44224
• 代理人: 鄧云鵬

技術(shù)領(lǐng)域

本發(fā)明涉及柔性基材加工領(lǐng)域，特別是涉及一種柔性基材表面處理裝置和處理方法。

背景技術(shù)

觸摸屏產(chǎn)品的觸摸屏用復(fù)合薄膜的制備，一般是以PET（Polyethylene?terephthalate，聚對(duì)苯二甲酸乙二醇酯）基材等柔性基材為基礎(chǔ)，對(duì)柔性基材的表面進(jìn)行處理后再進(jìn)行后續(xù)的生產(chǎn)工藝。目前常用的柔性基材的結(jié)構(gòu)為HC（hard?coating，硬涂層）/PET，此柔性基材在進(jìn)行后期的生產(chǎn)工藝前，要先進(jìn)行脫氣處理。

傳統(tǒng)柔性基材脫氣處理的方法是在基材表面沒(méi)有經(jīng)過(guò)處理的情況下，把柔性基材置于真空腔室內(nèi)，采用紅外線加熱管升溫，通過(guò)輻射傳遞熱量來(lái)達(dá)到脫氣的目的，脫氣效果由加熱器輻射能量來(lái)保證。由于真空腔室內(nèi)能量轉(zhuǎn)換方式為熱輻射，能量轉(zhuǎn)換效率低，脫氣時(shí)間長(zhǎng)，因此，處理效率低下。

發(fā)明內(nèi)容

基于此，有必要提供一種柔性基材脫氣處理效率較高的處理裝置。

一種柔性基材表面處理裝置，包括控制系統(tǒng)、電源、傳輸裝置、真空腔體以及在所述真空腔體內(nèi)相對(duì)設(shè)置的陰極板和陽(yáng)極板，所述控制系統(tǒng)控制所述電源的輸出電壓和輸出電流，所述傳輸裝置可攜帶所述柔性基材從所述陰極板及所述陽(yáng)極板中間穿過(guò)；所述陰極板及所述陽(yáng)極板上分別設(shè)有冷卻水管，所述陰極板上設(shè)有與所述真空腔體連通的工藝氣體管。

在其中一個(gè)實(shí)施例中，所述電源的輸出電壓恒定，電壓范圍為600V~3000V。

在其中一個(gè)實(shí)施例中，所述電源的輸出功率恒定，為0.2~1.5KW。

在其中一個(gè)實(shí)施例中，所述真空腔體的工作環(huán)境的真空度為2~8E^-2Torr。

在其中一個(gè)實(shí)施例中，所述工藝氣體管有兩個(gè)，分別設(shè)在所述陰極板與所述陽(yáng)極板相對(duì)的一側(cè)的兩端。

在其中一個(gè)實(shí)施例中，所述工藝氣體管中通入的工藝氣體為氬氣，向所述真空腔體中通入的所述氬氣的流量為100~700sccm。

上述柔性基材表面處理裝置利用高壓在陽(yáng)極板與陰極板之間形成高能粒子，利用此高能粒子轟擊柔性基材，一方面可以在柔性基材表面為后期生產(chǎn)工藝提供懸鍵；另一方面高能粒子轟擊在柔性基材表面，利用高能粒子發(fā)光時(shí)產(chǎn)生的熱量對(duì)柔性基材進(jìn)行烘烤，加快柔性基材表面吸附水的脫離，增加了原膜的脫氣效果，較之傳統(tǒng)的熱輻射脫氣處理，能力轉(zhuǎn)換效率高，可以顯著加快柔性基材的表面處理時(shí)間，提高生產(chǎn)效率。

一種使用上述的柔性基材表面處理裝置的柔性基材表面處理方法，包括如下步驟：

將所述柔性基材置于所述真空腔體內(nèi)所述陽(yáng)極板及所述陰極板之間，而且所述柔性基材向同一個(gè)方向移動(dòng)；

向所述真空腔體內(nèi)通入工藝氣體，同時(shí)啟動(dòng)所述冷卻水管對(duì)所述陽(yáng)極板及所述陰極板進(jìn)行冷卻處理；

通過(guò)所述控制系統(tǒng)控制電源的輸出電壓和輸出功率，在所述陽(yáng)極板及所述陰極板之間形成電壓將所述工藝氣體電離，其中帶負(fù)電的高能電子轟擊所述柔性基材，從而對(duì)所述柔性基材進(jìn)行表面處理。

該處理方法利用上述柔性基材表面處理裝置，處理過(guò)程簡(jiǎn)單，生產(chǎn)效率高。

附圖說(shuō)明

圖1為一實(shí)施方式的柔性基材表面處理裝置的結(jié)構(gòu)示意圖；

圖2為一實(shí)施方式的柔性基材表面處理方法的流程圖。

具體實(shí)施方式

下面結(jié)合附圖對(duì)柔性基材表面處理裝置和處理方法進(jìn)行進(jìn)一步詳細(xì)的說(shuō)明。

如圖1所示，一實(shí)施方式的柔性基材表面處理裝置100包括控制系統(tǒng)（圖未示）、電源（圖未示）、傳輸裝置110，真空腔體120、限極板130及陽(yáng)極板140。陰極板130與陽(yáng)極板140相對(duì)設(shè)置。此外，在本實(shí)施方式中，陰極板130及陽(yáng)極板140上分別設(shè)有冷卻水管150和冷卻水管160。限極板130上設(shè)有與真空腔體120連通的工藝氣體管170。

該柔性基材表面處理裝置100主要用于對(duì)柔性基材，如PET基材進(jìn)行表面處理。以下以PET基材200為例進(jìn)行說(shuō)明。

本實(shí)施方式的控制系統(tǒng)主要用于控制電源的輸出電壓和輸出功率。控制系統(tǒng)中設(shè)有兩種工作模式，電壓模式和功率模式。其中電壓模式保證在PET基材表面處理過(guò)程中陰極板130及陽(yáng)極板140之間的輸出電壓穩(wěn)定，而可以控制輸出電流的變化，如輸出電壓為600V~3000V不等，輸出電流可以為1A。處于電壓模式下，可以使得后續(xù)對(duì)PET基材處理時(shí)，轟擊到PET層表面的高能粒子的能量比較穩(wěn)定，從而有利于維持整個(gè)PET基材的溫度穩(wěn)定，便于其表面處理時(shí)間的控制。功率模式及電源的輸出功率恒定，如可以0.2～1.5KW不等，可以保證作用在基材表面的高能粒子的濃度比較平均，有利于整個(gè)PET基材均勻脫去水汽。