[發明專利]絕對式光柵尺總體測量精度的非接觸式的自動檢測裝置無效
| 申請號： | 201210375568.2 | 申請日： | 2012-09-27 |
| 公開（公告）號： | CN102865816A | 公開（公告）日： | 2013-01-09 |
| 發明（設計）人： | 王瀟洵;譚向全;黃劍波;馬俊林;孫強 | 申請（專利權）人： | 中國科學院長春光學精密機械與物理研究所 |
| 主分類號： | G01B11/00 | 分類號： | G01B11/00;G01B11/02 |
| 代理公司： | 長春菁華專利商標代理事務所 22210 | 代理人： | 張偉 |
| 地址： | 130033 吉*** | 國省代碼： | 吉林;22 |
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| 摘要： | |||
| 搜索關鍵詞： | 絕對 光柵尺 總體 測量 精度 接觸 自動檢測 裝置 | ||
【權利要求書】：
1.絕對式光柵尺總體測量精度的非接觸式的自動檢測裝置，其特征在于，該裝置包括：工作臺、平行光管、絲杠、第一反射鏡、第二反射鏡、滑臺、光柵尺和激光干涉儀；所述平行光管固定在工作臺的一側；光柵尺中的標準尺放置在工作臺上，與工作臺上的導軌平行，光柵尺讀數頭放置在滑臺內；絲杠固定在平行光管下方的工作臺上，滑臺放置在工作臺的導軌上，由絲杠控制滑臺在導軌上運動；第一反射鏡和第二反射鏡固定在滑臺上，激光干涉儀固定在工作臺的另一側。
2.如權利要求1所述的絕對式光柵尺總體測量精度的非接觸式的自動檢測裝置，其特征在于，平行光管的光線方向與工作臺的導軌平行。
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