[發(fā)明專利]化學(xué)液存儲(chǔ)裝置

有效

• 申請(qǐng)?zhí)枺?/td>: 201210375237.9
• 申請(qǐng)日: 2012-09-29
• 公開(kāi)（公告）號(hào): CN102895892A
• 公開(kāi)（公告）日: 2013-01-30
• 發(fā)明（設(shè)計(jì)）人: 王營(yíng)營(yíng)
• 申請(qǐng)（專利權(quán)）人: 北京七星華創(chuàng)電子股份有限公司
• 主分類號(hào): B01F5/10
• 分類號(hào): B01F5/10;B01F15/02;B65D90/00
• 代理公司: 北京路浩知識(shí)產(chǎn)權(quán)代理有限公司 11002
• 代理人: 王瑩

技術(shù)領(lǐng)域

本發(fā)明涉及半導(dǎo)體清洗技術(shù)領(lǐng)域，特別涉及一種化學(xué)液存儲(chǔ)裝置。?

背景技術(shù)

在半導(dǎo)體硅片濕法清洗工藝中會(huì)用到各種化學(xué)液，這些化學(xué)液或呈酸性、堿性或者具有強(qiáng)烈的腐蝕性，又或者粘度較高。某些情況下，化學(xué)液是可以循環(huán)使用的，其工作壽命可以達(dá)到每30L化學(xué)液連續(xù)清洗3天或者可以清洗3000片硅片，因此，化學(xué)液需要存儲(chǔ)在化學(xué)容器中，如槽或罐里面，非工藝時(shí)間可實(shí)現(xiàn)化學(xué)液在管路與容器間的自循環(huán)，而工藝過(guò)后可使化學(xué)液經(jīng)管路回到儲(chǔ)存化學(xué)液的容器中。?

但是，如果沒(méi)有特殊的引流裝置，工藝過(guò)后回收的舊化學(xué)液因粘度較高無(wú)法與化學(xué)容器中的自循環(huán)回的相對(duì)新鮮的化學(xué)液混合均勻，就會(huì)使得下次工藝時(shí)所使用的化學(xué)液或者大多為自循環(huán)回的化學(xué)液，也可能大多為回收的舊液，這樣就會(huì)影響工藝效果。目前，對(duì)于自循環(huán)與回收的化學(xué)液間的均勻混合，尚沒(méi)有成熟的措施，通常是化學(xué)液自循環(huán)管路與化學(xué)液回收管路簡(jiǎn)單的、相互獨(dú)立的分布在化學(xué)容器中，造成容器中化學(xué)液混合不均，影響工藝效果。?

發(fā)明內(nèi)容

（一）要解決的技術(shù)問(wèn)題?

本發(fā)明要解決的技術(shù)問(wèn)題是，針對(duì)現(xiàn)有技術(shù)的不足，提供一種化學(xué)液存儲(chǔ)裝置，通過(guò)化學(xué)液回收管路的特殊布局最終達(dá)到自循環(huán)的化學(xué)液與回收的化學(xué)液的充分混合，實(shí)現(xiàn)起來(lái)較為簡(jiǎn)單。?

（二）技術(shù)方案?

本發(fā)明提供一種化學(xué)液存儲(chǔ)裝置，包括：化學(xué)液回收管路，所述?回收管路呈螺旋狀并伸入化學(xué)液存儲(chǔ)容器中，其管壁均勻分布小孔并且末端封堵；化學(xué)液循環(huán)管路，所述循環(huán)管路貫穿于呈螺旋狀的所述回收管路中并且伸入化學(xué)液存儲(chǔ)容器中，其管壁均勻分布小孔并且末端封堵。?

更好地，所述化學(xué)液回收管路和所述化學(xué)液循環(huán)管路末端用堵塞封堵。?

更好地，所述化學(xué)液回收管路和所述化學(xué)液循環(huán)管路末端用焊接封堵。?

更好地，所述化學(xué)液存儲(chǔ)裝置還包括，位于化學(xué)液存儲(chǔ)容器側(cè)面用于感測(cè)化學(xué)液的液位傳感器。?

更好地，所述液位傳感器的數(shù)量至少為一個(gè)。?

更好地，所述化學(xué)液存儲(chǔ)裝置還包括，分別位于控制新化學(xué)液注入管、循環(huán)化學(xué)液注入管和回收化學(xué)液注入管上的三個(gè)控制閥門(mén)。?

更好地，所述化學(xué)液存儲(chǔ)裝置還包括，用于將所述化學(xué)液存儲(chǔ)容器中的化學(xué)液輸送到相應(yīng)工藝單元的配置泵。?

（三）有益效果?

本發(fā)明的化學(xué)液存儲(chǔ)裝置，通過(guò)化學(xué)液回收管路的特殊布局最終達(dá)到自循環(huán)的化學(xué)液與回收的化學(xué)液的充分混合，實(shí)現(xiàn)起來(lái)較為簡(jiǎn)單，并且其結(jié)構(gòu)簡(jiǎn)單有助于裝置的維修和清洗。?

附圖說(shuō)明

圖1為本發(fā)明化學(xué)液存儲(chǔ)裝置內(nèi)部結(jié)構(gòu)示意圖；?

圖2為圖1的右視圖；?

圖3為本發(fā)明化學(xué)液存儲(chǔ)裝置整體結(jié)構(gòu)示意圖；?

圖4為本發(fā)明化學(xué)液存儲(chǔ)裝置工作原理圖。?

具體實(shí)施方式

下面結(jié)合附圖和實(shí)施例，對(duì)本發(fā)明的具體實(shí)施方式作進(jìn)一步詳細(xì)描述。以下實(shí)施例用于說(shuō)明本發(fā)明，但不用來(lái)限制本發(fā)明的范圍。?

如圖1并參考圖2所示，本發(fā)明的化學(xué)液存儲(chǔ)裝置，包括：化學(xué)液回收管路11，所述回收管路呈螺旋狀并伸入化學(xué)液存儲(chǔ)容器中，其管壁均勻分布小孔并且末端封堵；化學(xué)液循環(huán)管路12，所述循環(huán)管路貫穿于呈螺旋狀的所述回收管路中并且伸入化學(xué)液存儲(chǔ)容器中，其管壁均勻分布小孔并且末端封堵。所述化學(xué)液回收管路和所述化學(xué)液循環(huán)管路末端用堵塞封堵或者用焊接封堵。?

如圖3所示，所述化學(xué)液存儲(chǔ)裝置還包括，位于化學(xué)液存儲(chǔ)容器側(cè)面用于感測(cè)化學(xué)液的傳感器9，所述傳感器9的數(shù)量至少為一個(gè)。?

所述化學(xué)液存儲(chǔ)裝置還包括，位于控制新化學(xué)液注入管上的控制閥門(mén)（3，6）、循環(huán)化學(xué)液注入管上的控制閥門(mén)（4，7）和回收化學(xué)液注入管上控制閥門(mén)（5，8）；用于將所述化學(xué)液存儲(chǔ)容器中的化學(xué)液輸送到相應(yīng)工藝單元的配置泵（1，2）。?