[發(fā)明專利]鎢硅靶材的制造方法

有效

• 申請?zhí)枺?/td>: 201210374813.8
• 申請日: 2012-09-27
• 公開（公告）號: CN103695852A
• 公開（公告）日: 2014-04-02
• 發(fā)明（設(shè)計）人: 姚力軍;相原俊夫;大巖一彥;潘杰;王學(xué)澤;宋佳
• 申請（專利權(quán)）人: 寧波江豐電子材料有限公司
• 主分類號: C23C14/35
• 分類號: C23C14/35;B22F3/16
• 代理公司: 北京集佳知識產(chǎn)權(quán)代理有限公司 11227
• 代理人: 駱蘇華

1.一種鎢硅靶材的制造方法，其特征在于，包括：

提供鎢粉和硅粉；

采用濕混工藝將所述鎢粉和所述硅粉進行混合，形成混合粉末；

采用冷壓工藝將所述混合粉末制成鎢硅靶材坯料；

采用真空熱壓工藝將所述鎢硅靶材坯料制成鎢硅靶材。

2.如權(quán)利要求1所述的鎢硅靶材的制造方法，其特征在于，所述濕混工藝采用鎢球作為研磨介質(zhì)球。

3.如權(quán)利要求2所述的鎢硅靶材的制造方法，其特征在于，所述濕混工藝中所述研磨介質(zhì)球和混合物料的球料質(zhì)量比為(2:1)~(5:1)。

4.如權(quán)利要求3所述的鎢硅靶材的制造方法，其特征在于，所述濕混工藝中加入的液體為質(zhì)量比為1:1的乙醇和甘油的混合溶液，所述混合溶液的質(zhì)量占全部所述混合物料質(zhì)量的1%~3%之間。

5.如權(quán)利要求4所述的鎢硅靶材的制造方法，其特征在于，所述濕混工藝的混合時間為4到8小時。

6.如權(quán)利要求5所述的鎢硅靶材的制造方法，其特征在于，所述濕混工藝中，所述混合物料混合均勻后形成漿料，所述漿料烘干后形成塊狀的所述混合粉末，塊狀的所述混合粉末進行破碎形成粉末狀的所述混合粉末。

7.如權(quán)利要求6所述的鎢硅靶材的制造方法，其特征在于，烘干所述漿料時的溫度控制在60℃~90℃。

8.如權(quán)利要求1所述的鎢硅靶材的制造方法，其特征在于，所述冷壓工藝中使用的模具為石墨模具。

9.如權(quán)利要求8所述的鎢硅靶材的制造方法，其特征在于，所述冷壓工藝中對所述石墨模具施加的壓強控制在4MPa~7MPa。

10.如權(quán)利要求1所述的鎢硅靶材的制造方法，其特征在于，所述真空熱壓工藝包括：

初始時對真空熱壓爐抽真空至真空度在100Pa以下；

對所述鎢硅靶材坯料升溫至最高溫度并加壓至最大壓強，而后保溫保壓。

11.如權(quán)利要求10所述的鎢硅靶材的制造方法，其特征在于，抽真空步驟后，升溫加壓步驟前，向所述真空熱壓爐通入惰性氣體至爐內(nèi)的相對壓強為-0.06MPa~-0.08MPa。

12.如權(quán)利要求11所述的鎢硅靶材的制造方法，其特征在于，所述升溫加壓中，升溫速度為5℃/min~20℃/min，所述最高溫度為1250℃~1350℃，升壓速度為0.10MPa/min~0.30MPa/min，所述最大壓強為15MPa~25MPa。

13.如權(quán)利要求12所述的鎢硅靶材的制造方法，其特征在于，所述保溫保壓的時間控制在2到4小時。

14.如權(quán)利要求13所述的鎢硅靶材的制造方法，其特征在于，所述保溫保壓操作過后，對所述真空熱壓爐進行冷卻和泄壓，當所述真空熱壓爐的爐溫降至200℃后打開爐門將所述鎢硅靶材取出。

15.如權(quán)利要求14所述的鎢硅靶材的制造方法，其特征在于，將取出的所述鎢硅靶材進行磨削、車削或者線切割等機械加工以使其達到預(yù)設(shè)尺寸。