[發(fā)明專利]一種方便印刷對(duì)準(zhǔn)的SE制程無(wú)效
| 申請(qǐng)?zhí)枺?/td> | 201210373379.1 | 申請(qǐng)日: | 2012-09-27 |
| 公開(kāi)(公告)號(hào): | CN103000757A | 公開(kāi)(公告)日: | 2013-03-27 |
| 發(fā)明(設(shè)計(jì))人: | 白杰;梁漢杰;陳龍;安丹 | 申請(qǐng)(專利權(quán))人: | 奧特斯維能源(太倉(cāng))有限公司 |
| 主分類號(hào): | H01L31/18 | 分類號(hào): | H01L31/18;H01L21/68 |
| 代理公司: | 南京蘇高專利商標(biāo)事務(wù)所(普通合伙) 32204 | 代理人: | 柏尚春 |
| 地址: | 215434 江蘇省蘇州*** | 國(guó)省代碼: | 江蘇;32 |
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| 摘要: | |||
| 搜索關(guān)鍵詞: | 一種 方便 印刷 對(duì)準(zhǔn) se 制程 | ||
技術(shù)領(lǐng)域
本發(fā)明涉及一種太陽(yáng)能電池片的選擇發(fā)射極制程,具體是一種方便印刷對(duì)準(zhǔn)的SE制程。?
背景技術(shù)
SE(Selective?Emitter,簡(jiǎn)稱SE)制程是生產(chǎn)高效太陽(yáng)能電池片的一個(gè)重要制程,主要是在電池的正面柵線下進(jìn)行重?cái)U(kuò)散,沒(méi)有柵線的地方進(jìn)行淺擴(kuò)散,本制程完成后,在金屬化制程中需要將柵線對(duì)準(zhǔn)到SE制程中進(jìn)行重?cái)U(kuò)散的區(qū)域。如果柵線很準(zhǔn)確的印刷在SE重?cái)U(kuò)散區(qū)域,電池片效率將會(huì)得到很大的提高,沒(méi)有對(duì)準(zhǔn)的話,電池片的效率將大大降低。這個(gè)對(duì)準(zhǔn)過(guò)程一般是人工使用假片印刷,并憑借肉眼觀察微調(diào),這樣的精確度就不高。?
發(fā)明內(nèi)容
發(fā)明目的:是針對(duì)現(xiàn)有技術(shù)存在的不足,提供一種SE制程中為了方便金屬化自動(dòng)對(duì)準(zhǔn)印刷的SE制程,從而提高了對(duì)準(zhǔn)精度以及降低了成本。?
技術(shù)方案:為實(shí)現(xiàn)上述目的,本發(fā)明提供了一種方便印刷對(duì)準(zhǔn)的SE制程,所述SE制程中SE圖形上設(shè)有不少于兩個(gè)的標(biāo)志點(diǎn)。本發(fā)明所述的標(biāo)志點(diǎn)位于柵線的主柵的間斷處或細(xì)柵的邊緣。?
本發(fā)明在原本的SE圖形上添加了標(biāo)志點(diǎn),使得金屬化制程中的自動(dòng)校準(zhǔn)儀器可以通過(guò)抓取標(biāo)志點(diǎn)來(lái)分析出電池片的位置,從而計(jì)算出正確的印刷位置,使得金屬柵線能夠精確的印刷在SE的重?cái)U(kuò)散區(qū)域上。本發(fā)明幾乎不增加任何成本,卻省去了常規(guī)人工對(duì)準(zhǔn)的人力成本以及假片成本,增加了對(duì)準(zhǔn)精度,使產(chǎn)品的質(zhì)量得到了提升。?
有益效果:本發(fā)明所述的一種方便印刷對(duì)準(zhǔn)的SE制程,具有以下優(yōu)點(diǎn):?
本發(fā)明僅在常規(guī)的SE圖形上加上了標(biāo)志點(diǎn),而這些標(biāo)志可以被金屬化自動(dòng)校準(zhǔn)儀器用來(lái)抓取,從而取代人工對(duì)準(zhǔn),大大提高對(duì)準(zhǔn)的精度,提高電池片效率。
附圖說(shuō)明
圖1為本發(fā)明的示意圖。?
圖2為本發(fā)明實(shí)施例中電池片效率對(duì)比圖。?
具體實(shí)施方式
下面結(jié)合附圖和具體實(shí)施例,進(jìn)一步闡明本發(fā)明,本實(shí)施例在以本發(fā)明技術(shù)方案為前提下進(jìn)行實(shí)施,應(yīng)理解這些實(shí)施例僅用于說(shuō)明本發(fā)明而不用于限制本發(fā)明的范圍。?
??實(shí)施例:?
一種方便印刷對(duì)準(zhǔn)的SE制程,?SE制程中SE圖形上設(shè)有四個(gè)的標(biāo)志點(diǎn)3,標(biāo)志點(diǎn)3位于細(xì)柵2的邊緣(如圖1)。
本實(shí)施例在常規(guī)的SE圖形上,加上了四個(gè)標(biāo)志點(diǎn),這四個(gè)標(biāo)志點(diǎn)可以被金屬化自動(dòng)校準(zhǔn)儀器用來(lái)抓取,取代人工對(duì)準(zhǔn),大大提高了對(duì)準(zhǔn)的精度,提高電池片效率,通過(guò)實(shí)驗(yàn)得出數(shù)據(jù)(如圖2);?
數(shù)據(jù)中的Auto是使用某金屬化自動(dòng)校準(zhǔn)儀器得到的數(shù)據(jù),可以看到使用自動(dòng)校準(zhǔn)以后,電池片的平均效率提高了0.07%,主要是FF提高了0.31%,這歸功于對(duì)準(zhǔn)精度的提高。
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H01L 半導(dǎo)體器件;其他類目中不包括的電固體器件
H01L31-00 對(duì)紅外輻射、光、較短波長(zhǎng)的電磁輻射,或微粒輻射敏感的,并且專門適用于把這樣的輻射能轉(zhuǎn)換為電能的,或者專門適用于通過(guò)這樣的輻射進(jìn)行電能控制的半導(dǎo)體器件;專門適用于制造或處理這些半導(dǎo)體器件或其部件的方法或
H01L31-02 .零部件
H01L31-0248 .以其半導(dǎo)體本體為特征的
H01L31-04 .用作轉(zhuǎn)換器件的
H01L31-08 .其中的輻射控制通過(guò)該器件的電流的,例如光敏電阻器
H01L31-12 .與如在一個(gè)共用襯底內(nèi)或其上形成的,一個(gè)或多個(gè)電光源,如場(chǎng)致發(fā)光光源在結(jié)構(gòu)上相連的,并與其電光源在電氣上或光學(xué)上相耦合的
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