[發明專利]凈房輔料簡易檢測方法無效
| 申請號: | 201210372298.X | 申請日: | 2012-09-28 |
| 公開(公告)號: | CN102914541A | 公開(公告)日: | 2013-02-06 |
| 發明(設計)人: | 陳道銀 | 申請(專利權)人: | 彩虹(佛山)平板顯示有限公司 |
| 主分類號: | G01N21/84 | 分類號: | G01N21/84;G01N21/94 |
| 代理公司: | 西安通大專利代理有限責任公司 61200 | 代理人: | 蔡和平 |
| 地址: | 528300 廣東省佛*** | 國省代碼: | 廣東;44 |
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| 摘要: | |||
| 搜索關鍵詞: | 輔料 簡易 檢測 方法 | ||
技術領域:
本發明涉及一種在OLED生產中凈房中物料的檢查方法,特別涉及一種凈房輔料簡易檢測方法。
背景技術:
在OLED生產過程中,對凈房內的凈潔度要求很高。因此,現場所使用的輔助材料如防護手套,清潔設備器具所使用的無塵布等也要求很高,否則達不到防護除塵的效果,還會對產品造成污染。但生產現場輔料缺少檢測器具和手段,在實際應用過程中,供應商所提供的物品標準并不完全與我們的實際應用效果一致。有時出現購買來的高等級的無塵布料,在對Mask進行擦拭后,原來的污染去掉了,又有無塵布帶來新的污染發生。這時才發現由于輔料本身發塵量大造成了不合格,給生產造成不良影響。
因此,需要有一種簡單易行的方法來對這些輔料進檢測判定,確保在現場使用無塵布都是不會成為新的污染源,從而消除輔料使用中帶來的污染問題。
發明內容:
本發明的目的在于提供一種凈房輔料簡易檢測方法,以解決在OLED生產現場對輔料的檢測問題。
為實現上述目的,本發明采用如下的技術方案:
一種凈房輔料簡易檢測方法,包括以下步驟:
1)選擇潔凈無污染的玻璃,在玻璃上滴入1~2ml新蒸留的分析純酒精,待酒精揮發后,通過光學顯微鏡拍照,建擋;將鋪在玻璃上的被檢測材料的邊緣上滴入1~2ml新蒸留的分析純酒精,通過被檢測材料浸潤至玻璃上后取走被檢測材料;待酒精揮發后通過光學顯微鏡分別觀測邊緣和中心的非揮發性殘留物的量;
2)在光學顯微鏡觀測到的被檢測材料的非揮發性殘留物與已知合格材料在同樣條件下測得的非揮發性殘留物進行對比,如被檢測材料的殘留物少于或等于合格材料的殘留物即判定被檢測材料合格。
本發明進一步的改進在于,當在玻璃上觀測到的非揮發性殘留物大于合格材料的15%時,更換潔凈的玻璃和酒精。
本發明進一步的改進在于,步驟1中待酒精揮發后通過光學顯微鏡分別觀測邊緣和中心的非揮發性殘留物的個數。
本發明進一步的改進在于,步驟2中同樣條件為浸潤玻璃的面積相同,用的新蒸留的分析純酒精量相同。
本發明進一步的改進在于,被檢測材料為防護手套或無塵布。
相對于現有技術,本發明具有以下的有益效果:
利用生產現場已有的設備和材料,能夠對輔助材料的品質差異作出有效的評價,從而保證進入現場使用的輔料都是合格的,消除輔料質量波動可能對生產和產品質量的不良影響。
通過利用現場已有的設備和材料解決了無塵布和防護手套的檢測問題;本方法簡單易行,檢測結果與實際使用效果對應,應用效果良好;經過對不同供應商所供的幾十種無塵布的的觀測,現已建立了檢測的標準,并對不同規格的無塵布進行分類,從中選擇出適合Mask擦拭和機臺擦拭所用的無塵布;將部分自身發塵量大,對環境和產品有污染的輔助材料拒之門外。
具體實施方式
實施例1
一種凈房輔料簡易檢測方法,包括以下步驟:
1)選擇潔凈無污染的玻璃,在玻璃上滴入1~2ml新蒸留的分析純酒精,待酒精揮發后,通過光學顯微鏡拍照,建擋;將鋪在玻璃上的被檢測材料的邊緣上滴入1~2ml新蒸留的分析純酒精,通過被檢測材料浸潤至玻璃上后取走被檢測材料;待酒精揮發后通過光學顯微鏡分別觀測邊緣和中心的非揮發性殘留物的量;
2)在光學顯微鏡觀測到的被檢測材料的非揮發性殘留物與已知合格材料在同樣條件下測得的非揮發性殘留物進行對比,如被檢測材料的殘留物少于或等于合格材料的殘留物即判定被檢測材料合格。
當在玻璃上觀測到的非揮發性殘留物大于合格材料的15%時,更換潔凈的玻璃和酒精,以免影響判定結果。被檢測的材料為防護手套或無塵布。
其中,步驟1中在玻璃上滴入1~2ml新蒸留的分析純酒精,待酒精揮發后,通過光學顯微鏡拍照,建擋作為基準;步驟1中待酒精揮發后通過光學顯微鏡分別觀測邊緣和中心的非揮發性殘留物的個數;步驟2中同樣條件為浸潤玻璃的面積相同,用的新蒸留的分析純酒精量相同。
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